高分辨率元素快照：
QUANTAX FlatQUAD扫描电子显微镜（SEM）成像

扫描电子显微镜（SEM）成像利用二次电子（SE）和背散射电子（BSE）探测器来观察样品表面的特性。SE图像能够提供表面形貌的精细细节，而BSE图像则提供材料的原子衬度。在两种模式下进行图像采集（通常为1024x786像素或1920x1080像素）通常需要30~120秒，生成的是灰度图，无法提供样品详细的化学成分信息。

XFlash® FlatQUAD EDS探测器具有独特的几何结构，四个环形布置的SDD芯片伸入极靴下方，靠近样品（约2–3毫米），并且具有非常高的检出角（高达80°）。这种几何结构使得XFlash® FlatQUAD拥有更大的立体角（高达1.1 sr），在市场上的SEM EDS探测器中具有无与伦比的灵敏度。高灵敏度和超快速数据采集速度可实现高达320万计数/秒（cps）的输出计数率。这使得用户能够在几秒钟内获得样品表面的“元素快照”或单帧EDS图谱，从而获得相应的高分辨率元素面分布。

除了常规的高分辨率SEM灰度图像外，由XFlash® FlatQUAD探测器和ESPRIT软件组成的QUANTAX FlatQUAD系统能够在几秒钟内以高分辨率获取完整的EDS面分布图。该高质量的EDS面分布图包含元素分布图和叠加的SEM图像，以及图中每个像素的完整EDS谱图。可以从元素分布图中选定区域提取谱图以进行局部定量分析；也可对整个面分布图进行定量分析。全息面分布（“Hypermap”）能够实现常规SEM成像无法完成的全面化学分析。

在本案例中， 15 kV 3nA的条件下仅用36秒就快速完成了一幅元素分布图的采集。输入计数率超过了3,100,000 cps，仅在几秒钟内就收集了总共2800万计数。

由于该材料具有高度异质性，包含低密度和高密度元素，BSE成像无法分辨材料中的某些化学差异。另一方面，元素快照，即单帧EDS面分布图，即使在高采图速度下也能清晰的区分化学成分分布。值得注意的是，即使在800×600 µm的相对较大视场下，仍能区分宽度小至700-1400 nm的特征的化学成分。