在 SEM 上使用微型 XRF 对印刷电路板 （PCB） 上的电子元件进行快速元素映射
元素回收 - 确定使用过的电子元件 中痕量元素的分布
印刷电路板（PCB）等电气元件的回收对于回收它们所包含的所谓“关键”元素非常重要。这些元素的回收可用于弥补目前采矿产量的不足。因此，作为现代能源转型的一部分，回收作为生产新电子产品和电池所需 原材料的来源变得越来越重要。
为了使元素回收高效和有效，重要的是能够快速准确地识别哪些PCB组件，例如 晶体管，电容器或电线，包含哪些特定元素。
本应用示例演示了如何在没有任何样品制备的情况下，在SEM（也称为SEM XRF）上使用高速微型XRF（也称为SEM XRF）来实现PCB的元素映射。QUANTAX micro-XRF是布鲁克在SEM上进行的 Micro-XRF系统，可用于以痕量元素灵敏度对电子元件进行元素分析。
XTrace 2是布鲁克QUANTAX微型XRF系统中的X射线源，配备了孔径管理系统（AMS），可以在较大的工作距离内保持聚焦，从而可以在这些具有挑战性的3D样品上进行映射。这对于具有多氯联苯等形貌特征的样品成像特别有益。
XTrace 2 中使用的 50 kV Rh 管还允许分析和识别高能元素线，从而提供更高的测量置信度。
在SEM上使用微型XRF拍摄的PCB元素映射显示了不同电路组件的元素分布。
3D 特征的高分辨率元素映射
QUANTAX微力XRF中使用的孔径管理系统（AMS）允许对具有3D特征的样品进行高分辨率映射，例如电子元件。
XTrace 2 中的孔径管理系统 （AMS） 是 QUANTAX 微型 XRF 中使用的 X 射线源，有助于在不同工作距离下对电路特征中的元件进行高分辨率映射。
用于更准确元素分析的高能谱线
XTrace 2是QUANTAX微型XRF中使用的50 kV X射线源，可将样品激发到更高的电子能量。这反过来又导致来自更高能量元素线的发射。在本例中，这些线是 Ag（Kα = 22.1 keV），Sn（Kα = 25.3 keV）和Ba（Kα = 32.2 keV）。这些额外的数据导致更准确的元素分析。
在SEM上使用Micro-XRF拍摄的高能光谱部分。 XTrace 2有助于分析更高能量的谱线，例如此处显示的银，锡和钡线。该嵌体显示了如何使用SEM XRF检测主要元素和痕量元素。