电子显微镜分析仪

QUANTAX 微区 XRF

超高元素灵敏度,几乎无需样品制备

高速(大面积) X 射线元素面分析

薄膜厚度分析

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亮点

10
ppm
检测极限
由于XRF 谱图背景低于 EDS 谱图,Micro-XRF 可实现微量元素分析
4
mm/s
移动速度
可选的 快速样品台 支持大面积的高速面分析
1 nm - 40 μm
层厚度范围
可分析从 1 nm 到 40 μm 具有多层结构的薄膜

微区 XRF 是 SEM 中 EDS 分析的互补分析技术

  • 扫描电子显微镜 (SEM)的微区 X 射线荧光 (Micro-XRF) 技术是与传统能量分散光谱 (EDS)能力补充的无损分析技术。这种分析技术对于未知样品中元素成分的表征非常重要,而未知样品的尺寸可以从厘米尺寸的不均匀样品到微米尺寸的颗粒
  • X射线激发源为微量元素的检测带来了更高的灵敏度(对于某些元素,检出限可低至 10ppm)。同时,光谱范围可以拓延(高达40 keV)以及探测深度可以更深
  • 配备 X 射线管,结合微聚焦 X 射线光学器件,可产生 30 μm 的小束斑和高强度通量
  • 模块化基于压电的样品台,专门设计用于安装在现有SEM 样品台上,使大面积高速元素X射线面分析"飞一样地"运行, 速度高达4毫米/秒。这使得在 50 x 50 mm(或更大)的样本面积上采集 X 射线面分布数据成为可能。同时,轻元素光谱数据以及微量元素和/或更高能量的 X 射线数据也纳入快速且用户友好的工作流中
  • X射线激发的样品深度更深,这让多层系统的表征成为可能。1 nm 到 高达40μm 的薄膜样品均可以分析,而这是用电子束源激发无法实现的

优势

通过 Micro-XRF 和快速样品台扩展您的 SEM 分析能力

  • 双束电压,包括电子束和X射线束,这为材料表征提供了新的可能性 - 可以同时使用两个束源来调查样品
  • 使用相同的探测器同时进行电子束/微区XRF信号采集,包括轻元素光谱数据,微量元素和/或更高能量X射线数据
  • XTrace和 快速样品台 都无缝集成到 ESPRIT软件中
  • EDS 和 微区XRF 定量方法相结合,将电子激发的更好的轻元素灵敏度与 XRF 更好的微量元素表征灵敏度相结合,产生更完整的样品表征结果
  • 与微区 XRF 和 电子束同步面分析表征,结合两个技术的优势。使用电子束激发较轻的元素(碳到钠),使用微区 XRF激发较重的元素
  • 剥离的谱峰峰值和扩展的光谱范围让用户能够看到高能量 K 线,因为它们不复杂且重叠峰更少
  • 几乎不需要样品制备 – 不导电样品表面,也无需抛光
  • 包含无标样和有标样定量模型

应用

在 μm 尺度且低浓度水平下,也能同时分析轻元素和重元素

来自智利埃尔特索罗矿场的异国情调的 Cu 样品。

矿物学样品大面积面分析

新的快速样品台专为 SEM 设计,可实现在毫米到厘米尺度上进行大面积面分析。这将消除与低放大倍率面分析相关的X射线强度变化伪影,从而增强以前不可能在有限时间得到的元素和矿物学信息。
异国情调的 Cu 矿床样本的大面积地图。

Exotic-Cu 矿床中的元素和矿物分布

观察样品中元素变化的能力对于了解地质过程和矿床成因非常重要。 在 SEM 上集成了微区 XRF 的双束系统可在大面积样品上进行元素 X 射线面分析,从而在 ppm 尺度上显示主要、次要和痕量元素。
新西兰卡兰加哈克金矿样品。

勘探和采矿的双束应用:含Au 的表热样品

微区 XRF 与 SEM 的结合使我们能在单一系统中以多个尺度分析样品,从厘米到毫米,甚至到微米和以下。因此,通过将微区 XRF 添加到 SEM,可以将 SEM 转换为双束系统,这意味着有 2 个信号激发源,即电子束和X射线光束。任何一个束源都可以单独使用,也可以同时用于激发样品产生 X 射线,而这些样品将使用相同的 EDS 探测器进行测量。
含金子的大面积地图。

地幔岩石学与钻石来源

在这里,我们展示了一个SEM-XRF元素分布图,该图来自含钻石的Newlands 金伯利岩(南非,卡普瓦尔克拉顿)的地幔石榴石和橄榄石。各种元素的强度分布显示样品中存在的某些矿物质。
土壤样本的大面积地图。

土壤中污染物和毒素的鉴定

具有粗糙表面的样品可以使用 SEM-XRF 执行大面积面分析(HyperMap)。当使用微区XRF 进行表征的时候,样品几乎不需要制备,可以直接分析样品。这一点在土壤分析中尤其重要,因为任何形式的样品制备(如镶样和抛光或碳涂层)都可能会改变样品。
CIGS 结构

使用SEM中的微区XRF进行薄膜分析

X射线可以穿过物质,因此X射线荧光(XRF)可以用来确定薄膜样品的层厚度。在SEM上使用微区XRF,可以用微米尺度的空间分辨率进行层分析(厚度和组成)。层分析的基础是使用原子基础参数(FP)对每一层的成分进行定量。

附件

快速样品台

快速样品台可以安装在 SEM 样品台的顶部,用于在大样品区域上实现快速面分析。

新闻和活动