Analisadores de Microscópio Eletrônico

QUANTAX Micro-XRF

Sensibilidade do Elemento Traço com Preparação Mínima de Amostras

Mapeamento de raios X Elementar de Alta Velocidade mesmo em grandes áreas

Análise de Espessura de Filme

Destaques

10 ppm
limite de detecção
Ativando a análise de elementos traços devido ao fundo espectral mais baixo
4 mm/s
velocidade de viagem
O Rapid Stage opcional permite mapeamento de alta velocidade em grandes áreas
1 nm - 40 µm
faixa de espessura da camada
Filmes finos a partir de 1 nm até estruturas de múltiplas camadas de 40 µm podem ser analisados

Micro-XRF como técnica analítica complementar à análise EDS no SEM

  • A análise por espectroscopia de fluorescência de micro-raios X (Micro-XRF) é uma técnica analítica não destrutiva complementar à análise tradicional de Espectroscopia de Energia Dispersiva (EDS) usando um microscópio eletrônico de varredura (SEM). Tais análises são importantes para a caracterização da composição elementar em amostras desconhecidas que variam de espécimes não homogêneos de grandes centímetros até pequenas partículas micrométricas.
  • A excitação de raios X produz uma sensibilidade muito maior para detecção de elementos traços (até 10 ppm para certos elementos), uma faixa espectral de raios X estendida (até 40 keV), bem como informações de maior profundidade dentro da amostra .
  • Equipado com um tubo de raios-X em combinação com uma ótica de raios-X de microfocagem, produz pequenos tamanhos de pontos de 30 µm com alta intensidade de transferência.
  • Um estágio modular baseado em piezo, especialmente projetado para ser montado no topo do estágio SEM existente, permite mapeamento de raios X elementares de alta velocidade “on the fly” em grandes áreas até uma velocidade de 4 mm/s. Isso permite a aquisição de dados de mapeamento de raios-X em um tamanho de amostra de 50 x 50 mm (ou superior), incorporando dados espectrais de elementos de luz, bem como dados de elementos-traço e/ou de raios-X de energia mais alta de forma rápida e fácil de usar. fluxo de trabalho.
  • A maior profundidade de excitação de raios X permite a caracterização de sistemas multicamadas a partir de 1 nm e variando até 40 µm, o que não é possível com a excitação eletrônica.

Benefícios

Expanda seus recursos analíticos SEM com o Micro-XRF e o Rapid Stage

  • Potencial de feixe duplo, tanto um feixe eletrônico quanto um feixe de raios X, que oferece novas possibilidades para a caracterização do material - Investigue amostras simultaneamente com ambas as fontes.
  • Usando o mesmo detector para aquisição simultânea de e-beam/micro-XRF, incorporando dados espectrais de elementos de luz, bem como elementos de traço e/ou dados de raios-X de energia mais alta.
  • Tanto o XTrace quanto o Rapid Stage estão perfeitamente integrados ao software ESPRIT.
  • A quantificação combinada de EDS e micro-XRF resulta em uma caracterização de amostra mais completa, combinando a melhor sensibilidade do elemento de luz da excitação de elétrons com a melhor sensibilidade do elemento traço do XRF.
  • Mapeamento simultâneo com excitação micro-XRF e e-beam, combinando as vantagens dos dois mundos. Excitando os elementos leves (carbono a sódio) usando o e-beam e os elementos mais pesados ​​por micro-XRF.
  • Picos separados e faixa espectral estendida permitem a capacidade de ver as linhas K de alta energia, pois são menos complexas e menos sobrepostas.
  • Preparação mínima da amostra – sem superfície condutora da amostra e sem necessidade de polimento extensivo
  • Quantificação sem padrões e baseada em padrões.

Aplicações

Incorporando elementos leves e pesados mesmo em baixos níveis de concentração em uma escala de µm

Exotic Cu sample from El Tesoro mine in Chile.

Large Area Mapping of Mineralogical Samples

The new Rapid Stage is specifically designed for SEMs to enable large area mapping over millimeter (mm) to centimeter (cm) scales. This will eliminate potential SEM X-ray intensity variation artifacts associated with low magnification mapping and thus enhance elemental and mineralogical information in a timeous manor that was previously not possible.
Large area map of an exotic Cu deposit sample.

Elemental and Mineral distribution in Exotic-Cu Deposits

The ability to observe elemental changes within samples is important to understand geological processes and ore deposit genesis. The dual source system which incorporates a micro-XRF on a SEM enables elemental X-ray mapping over large areas, which shows major, minor and also trace elements on the ppm scale.
Sample from Karangahake gold mine in New Zealand.

Dual Source Applications for Exploration and Mining: Au-bearing Epithermal Samples

The combination of micro-XRF with SEM enables the potential to analyze samples at multiple scales, from centimeters (cm) to millimeters (mm) to micrometers (µm) and below within a solitary system. Thus, by adding the micro-XRF to an SEM you convert your SEM to a dual source system, meaning that there are 2 excitations sources, the e-beam and photon beam. Either source can be used individually, or simultaneously, to generate sample X-rays that will be measured using the same EDS detector.
Large area map of a diamond-bearing eclogite.

Mantle Petrology and the Source of Diamonds

We present a SEM-XRF element map of a mantle garnet-spinel peridotite from the diamond-bearing Newlands kimberlite (South Africa, Kaapvaal Craton). The intensity of the various elements indicates certain minerals that are present in the sample.
Large area maps of soil samples.

Identification of Contaminants and Toxins in Soils

Large Area Mapping (Hypermaps) using SEM-XRF can be performed on samples with topography. That is, minimal sample preparation is required and the sample can be analyzed directly without any degredation. This is particularly relevant in the analysis of soils, where any form of sample preparation, such as mounting and polishing or carbon coating, may alter the specimen.
CIGS structure

Thin Film Analysis with SEM micro-XRF

As X-rays may pass through matter, X-ray Fluorescence (XRF) allows the determination of layer thickness. Using micro-XRF on SEM, the layer analysis (thickness and composition) is rendered feasible with spatial resolution at the micrometer scale. Layer analysis is strongly based on quantification using atomic fundamental parameter (FP).

Acessórios

Estágio Rápido

The Rapid Stage can be mounted on top of the SEM stage for fast mapping over large sample areas.