QUANTAX Micro-XRF

Highlights

10 ppm

Nachweisgrenze

Für Detektion von Spurenelementen durch höheres Signal zu Untergrund Verhältnis

4 mm/s

Fahrgeschwindigkeit

Die optionale Rapid Stage ermöglicht schnelle Elementverteilungsanalysen über große Flächen

1 nm - 40 µm

Schichtdickenbereich

Dünne Schichten ab 1 nm bis hin zu Mehrschichtstrukturen ~ 40 µm Gesamtdicke lassen sich bestimmen

Mikro-RFA als ergänzende Analysetechnik zur klassischen EDS-Analyse im REM

Die Mikro-Röntgenfluoreszenz-Spektroskopie (Micro-XRF, im Deutschen auch Mikro-RFA genannt) ist eine zerstörungsfreie Analysetechnik ergänzend zur herkömmlichen EDS-Analyse (Energy Dispersive Spectroscopy) am Rasterelektronenmikroskops (REM). Hiermit lässt sich die Elementzusammensetzung einer Vielzahl unbekannter Proben bestimmen. Es lassen sich inhomogene Proben von Zentimetergröße bis hin zu kleinen Partikelproben im Mikrometerbereich analysieren.
Die höhere Nachweisgrenze durch ein deutlich verbessertes Signal-zu-Untergrundverhältnis erlaubt die Analyse von Spurenelementen (bis zu 10 ppm für verschiedene Elemente und Proben-Matrizen). Zudem lassen sich auch höherenergetische Linienserien bis 40 keV effektiv anregen. Zusätzlich erreicht die Mikro-RFA eine deutlich höhere Informationstiefe, wodurch sich Strukturen auch weit unterhalb der Probenoberfläche auflösen lassen.
Durch die Kombination einer Mikrofokus-Röntgenröhre mit einer fokussierenden Röntgenoptik lassen sich kleine Spotgrößen von 30 µm bei hohem Impulsdurchsatz erzielen.
Der optionale piezobasierte „Rapid Stage“ Probentisch, ermöglicht Hochgeschwindigkeits- Elementverteilungsmessungen „On the fly“ mit einer maximalen Geschwindigkeit von 4 mm/s. Hierdurch lassen sich Elementverteilungsanalysen für Probengrößen bis 50 x 50 mm in einem Durchlauf (oder in mehreren Feldern auch größer) realisieren. Dabei können für qualitative Analytik beide Quellen (Elektronen- und Photonenanregung) parallel betrieben werden.
Die hohe Informationstiefe ermöglicht die Charakterisierung von Ein- und Mehrschichtsystemen ab 1 nm bis zu ~ 40 µm Gesamtschichtdicke, was mit Elektronenanregung alleine nicht möglich ist.

kontaktieren Sie uns Rapid Stage

Vorteile

Erweitern Sie Ihre Analysemöglichkeiten am REM durch die Integration der mikro-RFA und Rapid Stage

Doppelstrahlanregung – Nutzung der Stärken jeder einzelnen Anregung erweitert das analytische Spektrum und bietet neue Möglichkeiten für die Materialcharakterisierung.
Der vorhandene EDS-Detektor kann zur Erfassung der jeweiligen Spektren oder auch der gleichzeitigen Erfassung von Elektronen und Photonen angeregten Spektren für qualitative Analytik genutzt werden. Hierdurch lassen sich sowohl leichte Elemente als auch Spurenelemente und hochenergetische (K-) Linienserien gleichzeitig detektieren.
Sowohl XTrace als auch Rapid Stage sind nahtlos in die ESPRIT Software integriert.
Die kombinierte EDS- und Mikro-RFA-Quantifizierung erlaubt eine umfassendere Probencharakterisierung. Hier werden die Leichtelementinformationen der Elektronenstrahlmikroanalyse mit Spurenempfindlichkeit der Mikro-RFA kombiniert.
Gleichzeitiges Elektronenstrahl- und Mikro-RFA Elementmapping vereint die Vorteile beider Welten. So lassen sich die Verteilung leichter und schwerer Elemente gleichzeitig darstellen.
Der erweiterte Spektralbereich ermöglicht neben M- und L-Linienserien auch die Darstellung hochenergetischer K-Linien. Diese sind oftmals deutlich weniger überlappend und erleichtern die Quantifizierung komplexer Proben.
Minimale Probenvorbereitung – die Mikro-RFA erfordert keine leitfähige Probenoberfläche und kein umfangreiches Polieren.
Standardlose und standardbasierte Quantifizierung sind möglich.