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蓝宝石图形化衬底(PSS)的三维测量和过程控制

 

AutoMET:具有原子力显微镜三维分辨率的自动测量和产品监测

布鲁克的Dimension EdgeTM PSS原子力显微镜结合AutoMETTM测量软件是LED衬底和外延工艺生产商理想的纳米测量和监测系统。结合了著名的Dimension系列原子力显微镜的 高分辨与物超所值,作为Dimension Edge的扩展,Edge PSS提供了适合产线要求的衬底测量方案。

Dimension Edge PSS Automet wafer Image
3D AFM image of flat-top patterned sapphire substrate.

布鲁克还针对蓝宝石图形化衬底生产商设计了AutoMET控制和分析软件包。该软件包和Edge PSS一起为用户提供了前所未有的自动化程度和易用性。

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