Bruker
Продукты и решения
Применения
Услуги
Новости и события
О нас
карьера
Анализатор слитков кремния

SiBrickScan

Banner SiBrickScan

Особенности

SiBrickScan (SBS) - анализатор слитков кремния

SiBrickScan (SBS) - это специализированная система, работающая в режиме реального времени, для количественного определения содержания кислорода в цельных слитках кремния, результатом которого является профилирование концентрации вдоль продольной оси слитка.  Получение этой информации без распиливания пластин или тестовых образцов является экономически целесообразным.

Получите ценную информацию для проверки и оптимизации качества продукции

Знание кислородного градиента слитков Si позволяет сделать важные выводы, помогающие, например, контролировать и оптимизировать процесс кристаллизации кремния или выявлять партии плохого сырья. Поэтому SBS поможет сэкономить затраты за счет оптимизации качества продукции и уменьшения количества дефектных пластин. Случайная выборка отдельных слитков значительно снижает усилия по подготовке выборки и предоставляет соответствующую информацию гораздо раньше.

Самая высокая чувствительность по современной спектроскопии FTIR

Интерстициальная количественная оценка кислорода с помощью спектроскопии FT-IR (ASTM/SEMI 1188) является известным и важным методом анализа, но ограниченным тонкими образцами Si в низком диапазоне мм. SiBrickScan (SBS) преодолевает это ограничение и является первой коммерчески доступной полностью выделенной системой для определения градиента кислорода в полных слитках вдоль их основной оси без необходимости трудоемкой и разрушительной тонкой подготовки образца. SBS разумно использует связанную с этим инфракрасную полосу поглощения обертона в сочетании с надежной и современной технологией Bruker FT-IR.


Применения

Области применения

Количественная оценка интерстициального кислорода без подготовки тонких образцов

SiBrickScan позволяет проводить анализ интерстициального кислорода в кремниевых слитках длиной до 500 мм. Эта ценная информация позволяет оптимизации процесса кристаллизации, а также квалификации отдельных слитков перед распилив.

Высокое качество калибровки непосредственно связано с ASTM/SEMI 1188

Оценка кислорода SBS использует калибровку, которая напрямую связана с/производным от ASTM/SEMI 1188. Поскольку корреляция обоих методов почти идеальна, интерстициальная концентрация кислорода оценивается с высокой точностью.

 

Наивысшая чувствительность обнаружения с помощью SBS

В зависимости от формы и свойств образца (например, сопротивления) SBS может достичь интерстициальных ограничений обнаружения кислорода Lt; 2 ppma (Lt; 1017/cm3). Если вы заинтересованы в измерении технико-экономического обоснования, пожалуйста, свяжитесь с вашим местным представителем Bruker.

Спецификации

Характеристики

Выделенные версии SBS для различных типов слитков

SBS доступен для поли или монокристаллических стандартных слитков П.В. (поперечное сечение 156 х 156мм 2),а также для цилиндрических слитков Si, например, с диаметром 150 мм (6) или 200 мм (8). Системы для других диаметров и форм могут быть доступны по запросу.

Промышленность совместимый и надежный дизайн

Надежный и точный линейный привод автоматически контролирует положение измерения слитка: в зависимости от конфигурации и типа слитка пространственное разрешение кислорода в размере 12 мм может быть достигнуто вдоль оси слитка. Надежные и безопасные механизмы блокировки исключают риск контакта оператора с движущихся частями.

Интуитивно понятный и простой в использовании интерфейс программного обеспечения

SiBrickScan (SBS) включает в себя специальный и интуитивно понятный графический пользовательский интерфейс, оптимизированный для промышленной среды. Также обычными производственными работниками стандартную процедуру эксплуатации можно узнать за несколько минут: просто загрузить слиток, выбрать желаемый рецепт анализа и начать измерение. Само измерение будет проводиться автоматически, включая оценку данных.

Инновационный путь луча высокой чувствительности с включенным эталоном образца

Уникальный и инновационный инфракрасный луч путь обеспечивает высокую чувствительность измерения. В прибор уже включена высококачественная эталонная выборка, и эталонное измерение делается автоматически.

Параметры детектора в соответствии с требованиями клиентов

SBS доступен либо с детектором охлаждения Стирлинга, работающим независимо от жидкого азота. Дополнительно SiBrickScan также можно заказать с жидким детектором охлаждения азота, включая автоматическое устройство пополнения.

Дополнительная информация

Дополнительная литература об анализаторах кремния

Узнайте больше о наших анализаторах кремния и решениях, загрузив связанную литературу.