熱特性 局所熱分析 nanoTA ～原子間力顕微鏡(AFM)を利用したナノスケール熱分析手法の紹介～
半導体、光、磁気デバイス向けの構造や特性測定を、例えばウェハー面内の多数点で測定を行い、プロセス工程内の面内ばらつき確認や品質管理にAFMを用いるケースが増えてきています。単一条件による多数点測定から、測定位置毎に様々な測定を組み合わせる応用例まで多岐にわたります。このウェビナーでは、専用測定ソフトを使用した自動多点測定方法の概要について説明します。（約20分）2024年3月27日
ウェビナー要約
ナノスケールの空間分解能で材料表面の局所転移温度を分析できるナノスケール熱分析（AFM Nano-TA）は、定量的な特性評価を行うことで材料やその相分離、成分分布（凝集）等の特定に役立ちます。また、熱特性マッピング（SThM）は、サンプル温度または熱伝導率マッピング情報を提供します。これらの測定は、専用のサーマルプローブを用いることによりコンタクトモードやタッピングモード等の測定手法を使って高解像度の形状イメージを取得するのと合わせて、AFM形状イメージから熱分析の対象箇所を特定し、数秒～AFMイメージ取得時間と同等程度で熱分析を実行することが可能です。本講演では、これら二種類の熱分析手法Nano-TaおよびSThMと測定事例を紹介します。
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