SI BrickScan

SiBrickScan (SBS) ist ein dediziertes produktionsnahes ("at-line") System für die FTIR basierte Quantifizierung von interstitiellem Sauerstoff in kompletten Silizium-Ingots. Das Ergebnis ist ein Konzentrationsprofil entlang der Längsachse des Ingots. Der Zugang zu dieser Information, ohne die Notwendigkeit, Testproben oder Wafer zu präparieren, stellt einen signifikanten und kostensparenden Vorteil dar.

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Wertvolle Informationen zur Kontrolle und Optimierung der Produktqualität

Die Kenntnis des Sauerstoffgradienten in Si-Ingots ermöglicht wichtige Schlussfolgerungen z. B. zur Kontrolle und Optimierung des Kristallisationsprozesses oder zur Identifizierung von schlechten Chargen. Somit ist SiBrickScan ein wichtiges Werkzeug zur Kostenersparnis durch Optimierung der Produktqualität und Reduktion der Anzahl fehlerhafter Wafer. Die stichprobenartige Analyse individueller Ingots reduziert den Aufwand der Probenpräparation dramatisch und liefert die relevanten Informationen deutlich früher.

Höchste Messempfindlichkeit durch modernste FTIR-Spektroskopie

Die FTIR-Quantifizierung von interstitiellem Sauerstoff in Si (ASTM/SEMI 1188) ist eine etablierte und wichtige Analytikmethode, die aber auf Probendicken im niedrigen mm-Bereich beschränkt ist. SiBrickScan (SBS) überwindet diese Limitierung und ist das erste kommerziell erhältliche, dedizierte Gesamtsystem zur Ermittlung des Sauerstoffgradienten in kompletten Ingots entlang ihrer Längsachse, ohne die Notwendigkeit, zeitaufwändig dünne Testproben zu präparieren. Hierzu wird beim SBS auf intelligente Weise der sog. Oberton einer Infrarot-Absorptionsbande mittels modernster und zuverlässiger Bruker FTIR-Technologie analysiert und ausgewertet.

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Dedizierte SBS-Versionen für Unterschiedliche Ingot-Typen

Das SBS ist sowohl erhältlich für quaderförmige poly- oder monokristalline Standard PV-Ingots (Querschnitt ~156 x 156 mm2) als auch für zylindrische Ingots mit Durchmesser ~150 mm (6") oder ~200 mm (8"). Sollten Sie an Systemen für andere Durchmesser oder Formen interessiert sein, prüfen wir auf Anfrage gerne die Machbarkeit für Sie.

Industrie-Kompatibles und Robustes Design

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Ein robuster und präziser Lineartrieb steuert automatisch die Messposition des Si-Ingots: Abhängig von Konfiguration und Ingot-Typ kann die Sauerstoffkonzentration mit einer Ortsauflösung von bis zu 12 mm ermittelt werden. Sichere und zuverlässige elektronische Verriegelungsmechanismen schließen dabei die Gefahr aus, dass der Bediener mit beweglichen Teilen in Kontakt kommt.

Intuitive und komfortable Bediensoftware

SiBrickScan (SBS) umfasst eine dedizierte und intuitive grafische Bedienoberfläche, die für industrielle Bedürfnisse optimiert ist. Auch von normalen Produktionsarbeitern kann der Standard-Bedienungsablauf innerhalb weniger Minuten erlernt werden: Nach dem Laden des Ingots muss lediglich das gewünschte "Analyserezept" ausgewählt und die Messung gestartet werden. Die eigentliche Messung einschließlich Datenauswertung erfolgt daraufhin automatisch.

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Innovativer Strahlengang mit enthaltener Referenzprobe

Ein einzigartiger und innovativer Infrarot-Strahlengang stellt die höchstmögliche Messempfindlichkeit sicher. Eine hochwertige Referenzprobe ist bereits im Gerät enthalten und die entsprechende Referenzmessung wird automatisch durchgeführt.

Detektoroptionen für unterschiedliche Kundenanforderungen

Das SBS ist mit einem Stirling-gekühlten Detektor erhältlich, der ohne flüssigen Stickstoff betrieben werden kann. Optional ist aber auch eine SiBrickScan-Version mit Flüssigstickstoff-gekühltem Detektor einschließlich automatischer Nachfülleinrichtung verfügbar.

Quantifizierung von interstitiellem Sauerstoff ohne die Präparation dünner Testproben

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SiBrickScan ermöglicht die Analyse von interstitiellem Sauerstoff in Silizium-Ingots bis zu einer Länge von 500 mm. Diese wertvolle Information ermöglicht sowohl die Optimierung des Kristallisationsprozesses als auch die Qualifizierung individueller Ingots vor dem Sägen.

Hochwertige, direkt mit ASTM/SEMI 1188 verknüpfte, Kalibration

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Die SBS-Sauerstoffauswertung nutzt eine Kalibration, die direkt mit ASTM/SEMI 1188 verknüpft ist bzw. von dieser abgeleitet wurde. Da die Korrelation beider Methoden nahezu perfekt ist, kann der interstitielle Sauerstoff mit höchster Genauigkeit quantifiziert werden.

Höchste Nachweisempfindlichkeit mit SBS

Abhängig von Probenform und Eigenschaften (z. B. spezifischer Widerstand) sind mit SiBrickScan Sauerstoffnachweisgrenzen <2ppma (<1017/cm3) erreichbar. Falls Sie an einem Machbarkeitstest interessiert sind, kontaktieren Sie bitte Ihren regionalen Bruker-Repräsentanten.