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Der neue Standard in der taktilen Profilometrie

The DektakXT® stylus profiler features a revolutionary design that enables unmatched repeatability of 4Å and up to 40% improved scanning speeds. This major milestone combined with its other breakthroughs, uniquely enable the DektakXT to perform the critical nanometer-level film, step and surface measurements needed to power future advances in the microelectronics, semiconductor, solar, high-brightness LED, medical, scientific and materials science markets.

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Über vierzig Jahre Erfahrung in der Profilometrie


Die Marke Dektak hat das erste Profilometer für Dünnschichtmessungen, das erste Mikroprozessor-basierte Profilometer, das erste 3D-fähige Profilometer, das erste PC-basierte Profilometer und das erste automatisierte 300‑mm‑Profilometer entwickelt. Nun setzt DektakXT dieses Erbe wegweisender „Firsts“ als erstes Stylus-Profilometer fort, das ein Single-Arch-Design implementiert hat, das erste, das eine HD-Farbkamera mit Echtfarben enthält, und das erste, das eine 64-Bit-Parallelverarbeitungsarchitektur nutzt, um optimale Mess- und Betriebseffizienz zu erreichen.

Dektak History horizontal
Stylus Garstip v1

Schnellere Sammlung und Analyse


Dank eines einzigartigen Scan-Tisches mit Direktantrieb beschleunigt DektakXT die Mess-Scan-Zeit um 40 %, während die branchenführende Qualität erhalten bleibt. Vision64, die parallele 64-Bit-Verarbeitungs- und Analysesoftware von Bruker, ermöglicht das schnellere Laden von 3D-Dateien und die schnellere Anwendung von Filtern sowie die Analyse von Mehrfachscan-Datenbanken.

Wiederholbare Messungen


Die Implementierung einer Struktur mit nur einem Bogen macht das DektakXT stabiler, wodurch die Umgebungsgeräusche reduziert werden. Die verbesserte „intelligente Elektronik“ des DektakXT reduziert Temperaturschwankungen und nutzt moderne Prozessoren, die Fehlereinflüsse bei den Geräuschen minimieren. Dadurch entsteht ein noch robusteres System, mit dem Stufen mit einer Höhe von <10 nm gemessen werden können.

Stylus wafer v1
Stylus vision64 v1

Perfektionierung von Bedienung und Analyse


Die Vision64-Software von Bruker ergänzt das innovative Design von DektakXT durch eine besonders intuitive und optimierte visuelle Benutzeroberfläche. Die Kombination aus intelligenter Architektur und anpassbaren Automatisierungsfunktionen ermöglicht eine schnelle und umfassende Datenerfassung und -analyse. Unabhängig davon, ob Sie eine Formel verwenden, um Routineanalysen an einzelne Scans durchzuführen oder benutzerdefinierte Filtereinstellungen und -berechnungen anwenden, der Data Analyzer von DektakXT zeigt aktuelle Daten an und zeigt auch andere mögliche Analysen auf.



Dinge vereinfachen


Die sich selbst ausrichtenden Stifte und die Anordnung des DektakXT ermöglichen dem Benutzer, die Größe der Tastspitze schnell und einfach zu ändern, während mögliche Pannen während des Prozesses vermieden werden. Bruker bietet die größte Auswahl an Stiftgrößen für nahezu jede Anwendung.


Stylus tip exchange v1
Dektak 3d hybrid circuit map v1


Sicherung einer hohen Rendite


DektakXT bietet die Möglichkeit, schnell und einfach automatisierte Multi-Site-Messroutinen einzurichten und zu durchzuführen, um die genaue Dicke dünner Schichten auf der Waferoberfläche mit bisher unerreichter Wiederholbarkeit zu überprüfen. Diese genaue Überwachung kann durch die Verbesserung der Erträge wertvolle Zeit und Geld sparen.