Profilomètre à Stylet

DektakXT

LA référence en matière de profilage de stylet

DektakXT

Le profilomètre à stylet DektakXT® présente une conception de table révolutionnaire qui permet une répétabilité inégalée de 4Å ainsi qu'une augmentation de 40% des vitesses de balayage. Cette étape majeure dans la performance des profileurs à stylet est l'aboutissement de plus de cinquante ans d'innovation et de leadership industriel Dektak®. Grâce à sa combinaison de technologies inédites, DektakXT offre une performance ultime, de facilité d'utilisation et de valeur ajoutée afin de permettre un meilleur suivi des processus, allant de la R&D jusqu'au controle de qualite. Les percées technologiques incorporées au DektakXT permettent d'effectuer des mesures de surface critiques à l'échelle du nanomètre pour les secteurs de la microélectronique, des semi-conducteurs, le photovoltaique, des LED à haute luminosité, de la médecine et des sciences des matériaux.

4 angströms
répétabilité
Offre une précision à la pointe de la technologie.
Arche Unique
conception
Provides breakthrough scan stability.
Auto-Alignement
stylets
Permet de changer le stylet sans effort.
Caractéristiques

Accélérer la collecte et l'analyse des données

Grâce à un palier de balayage unique à commande directe, le DektakXT accélère de 40 % le temps de balayage des mesures tout en maintenant des performances de pointe. Vision64, le logiciel d'exploitation et d'analyse à traitement parallèle 64 bits de Bruker, permet de charger plus rapidement les fichiers 3D ainsi que d'appliquer plus rapidement les filtres et les analyses de bases de données multiscan.

Le traitement parallèle 64 bits Vision54 de DektakXT complète et traite les gros fichiers de données 3D en presque deux fois moins de temps.

Fournir les Mesures les Plus Répétables

Le capteur à stylet tout-en-un de Dektak permet d'obtenir simultanément une grande portée verticale et un balayage à faible force.

La mise en œuvre d'une structure à arche unique rend le DektakXT plus robuste, et minimise les effets du bruit ambiant. Les "composants électroniques intelligents" améliorés du DektakXT réduisent les variations de température et utilisent des processeurs modernes permettant de minimiser le phénomène d'erreur, ce qui en fait un système encore plus robuste et capable de mesurer des hauteurs de pas de <10nm.

Perfectionner l'Éxploitation et l'Analyse

Le logiciel Vision64 de Bruker complète la conception innovante du système DektakXT en offrant l'interface utilisateur visuelle la plus intuitive et la plus rationnelle. La combinaison d'une architecture intelligente avec des capacités d'automatisation personnalisables permet une collecte et une analyse des données rapides et complètes. Que vous utilisiez une recette pour effectuer une analyse de routine sur des scans uniques, ou que vous appliquiez des paramètres de filtres et des calculs personnalisés; l'analyseur de données DektakXT affiche les données actuelles tout en révélant d'autres analyses possibles.

Le logiciel Vision64 de DektakXT simplifie et accélère considérablement l'utilisation et l'analyse des données.

Simplifier les Tâches

Le DektakXT est doté de l'échange de stylet le plus rapide et le plus facile, ce qui permet d'utiliser différentes stylets pour répondre à la plus grande variété d'applications.

L'assemblage du stylet à alignement automatique du DektakXT permet à l'utilisateur de changer rapidement et facilement de taille de stylet, tout en éliminant tout risque d'incident au cours du processus. Bruker propose la plus grande variété de tailles de stylet afin de répondre à presque tous les besoins applicatifs.

Garantir un Rendement Élevé

Le système DektakXT permet de configurer et d'exécuter rapidement et facilement des routines de mesure multisites automatisées pour contrôler l'épaisseur précise des films minces à la surface des plaquettes, le tout avec une répétabilité inégalée. Ce contrôle efficace permet de gagner un temps précieux et d'économiser de l'argent par l'amélioration des rendements.

Carte 3D DektakXT d'un circuit hybride.
Témoignages

Écoutez ce que nos Clients ont à Dire

Je suis un propriétaire de longue date de profileurs Bruker. Mon premier était un profilomètre à stylet Dektak 6 il y a de ça vingt ans, puis un Dektak 150, suivi d'un profileur optique ContourGT, et plus récemment d'un Dektak XT. Et de plus, toutes ces machines fonctionnent encore ! Ce sont de véritables "chevaux de trait", qui fournissent des mesures fines et précises jour après jour, avec un minimum de temps d'arrêt. En tant que responsable d'une installation multi-utilisateurs, je suis vraiment heureux de toutes ces années de bon partenariat avec Bruker. Des centaines d'étudiants ont déjà utilisé ces machines des milliers de fois. Ce qui prouve pleinement que ces profileurs sont des plateformes robustes, fiables et conviviales.

Dr. Shimon Eliav, chef de l'unité de nanofabrication, Université hébraïque de Jérusalem.

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