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La nouvelle norme en matière de profilométrie à stylet

The DektakXT® stylus profiler features a revolutionary design that enables unmatched repeatability of 4Å and up to 40% improved scanning speeds. This major milestone combined with its other breakthroughs, uniquely enable the DektakXT to perform the critical nanometer-level film, step and surface measurements needed to power future advances in the microelectronics, semiconductor, solar, high-brightness LED, medical, scientific and materials science markets.

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Plus de quarante ans d'innovation dans le profilage


La marque Dektak possède le premier profileur pour les mesures de couches minces, le premier profileur à base de microprocesseur, le premier profileur à capacité 3D, le premier profileur basé sur PC et le premier profileur automatique de 300 mm. Aujourd'hui, DektakXT perpétue cet héritage de pionniers en tant que premier profileur de stylets à implémenter une architecture à une seule arche, le premier à incorporer une caméra optique HD en vraie couleur, et le premier à exploiter une architecture de traitement parallèle 64 bits pour optimiser mesure et efficacité de fonctionnement.

Dektak History horizontal
Stylus Garstip v1

Accélérer la collecte et l'analyse


Utilisant un étage de balayage à entraînement direct unique, le DektakXT accélère les temps de balayage des mesures de 40% tout en conservant une qualité de pointe. Vision64, le logiciel d'analyse et de traitement parallèle 64 bits de Bruker, permet un chargement plus rapide des fichiers 3D et des applications plus rapides des filtres et des analyses de bases de données multiscan.

Fournir des mesures répétables


La mise en œuvre d'une structure à une seule arche rend le DektakXT plus robuste, ce qui réduit les sources de bruit ambiant. Les «composants électroniques intelligents» améliorés de DektakXT réduisent les variations de température et utilisent des processeurs modernes qui minimisent le bruit induisant des erreurs, ce qui en fait un système encore plus robuste capable de mesurer des hauteurs de pas <10nm.

Stylus wafer v1
Stylus vision64 v1

Perfectionner l'opération et l'analyse


Le logiciel Vision64 de Bruker complète la conception innovante de DektakXT en fournissant l'interface utilisateur visuelle la plus intuitive et la plus rationalisée. La combinaison d'une architecture intelligente et de capacités d'automatisation personnalisables permet une collecte et une analyse de données rapides et complètes. Que vous utilisiez une recette pour effectuer une analyse de routine sur des analyses uniques ou que vous appliquiez des paramètres et des calculs de filtres personnalisés, l'analyseur de données de DektakXT affiche les données actuelles tout en révélant d'autres analyses possibles.



Rendre les choses faciles


Le stylet et l'assemblage à alignement automatique du DektakXT permettent à l'utilisateur de changer rapidement et facilement la taille de la pointe du stylet tout en éliminant tout risque d'erreur pendant le processus. Bruker offre la plus large gamme de tailles de stylets pour répondre à presque tous les besoins d'application.


Stylus tip exchange v1
Dektak 3d hybrid circuit map v1


Assurer un rendement élevé


DektakXT offre la possibilité de configurer et d'exécuter rapidement et facilement des routines de mesure multi-site automatisées pour vérifier l'épaisseur précise des films minces à travers la surface de la plaquette avec une répétabilité inégalée. Cette surveillance étroite peut économiser du temps et de l'argent en améliorant les rendements.