software, X-ray diffraction, DIFFRAC.SUITE

LEPTOS R

Le LEPTOS R est conçu pour l'analyse des données relatives à la réflectivité des rayons Xy (XRR) et de la réflexion diffuse non spectaculaire (DS) à partir des structures à fines couches. Ce module est entièrement intégré dans la suite LEPTOS, laquelle comprend l'analyse simultanée des données HRXRD, GISAXS et XRR. Faisant partie intégrante de la suite LEPTOS, le module R hérite de toutes les fonctionnalités communes à l'ensemble du progiciel.

 

Le LEPTOS R est très bien coté dans plusieurs références internationales, dont le projet VAMAS A10. La structure du LEPTOS R est conforme à la nouvelle norme internationale rfCIF pour le format des données XRR.

LEPTOS R Software, XRD
With LEPTOS R diffuse scattering rods and rocking curves can be fitted both as a separate curve and as a consistent set of several curves in any combination of transverse and longitudinal scans.

Théorie

  • Formalisme dynamique de Parratt permettant de calculer la réflectivité à partir d'échantillons multicouches et approximation de Born à ondes déformées permettant la simulation/l'ajustement de la réflexion diffuse des rayons X non spectaculaire
  • Diversité des modèles de rugosité interfaciale pour les échantillons ayant une morphologie de croissance différente
  • Méthode d'opérateur pour le calcul universel des paramètres de la diffusion des rayons X à partir de matériaux cristallins et amorphes tels que: facteurs de diffusion atomique, polarisabilités des rayons X etc.
  • Méthode brevetée d'EigenWaves (MEW) pour l'accélération essentielle des ajustements pour les super-réseaux et les multicouches répétées

Éditeur d'échantillons

  • Éditeur d'échantillons performant et flexible, dont les outils pour les super-réseaux, la liaison des paramètres physiques des couches, les profils de couches définis par l'utilisateur
  • Base de données des matériaux, vaste et extensible par l'utilisateur
  • Diffractomètre virtuel permettant de prendre en compte la fonction de résolution instrumentale et les effets d'empreinte

Évaluation des données

  • Simulation et ajustement de la réflexion diffuse des rayons X non spectaculaire par plusieurs modèles de corrélation de rugosité verticale et latérale, les données à la fois spectaculaires et non spectaculaires peuvent être ajustées de façon cohérente
  • Simulation, estimation et ajustement des données en espace direct et réciproque
  • Fast Fourier Transform pour une estimation rapide des épaisseurs de couches
  • Analyse détaillée grâce à l'ajustement utilisant l'algorithme génétique, le recuit simulé, les routines d'ajustement Simplex ou Levenberg-Marquardt.
  • Cartographie de zones, évaluation automatisée des données via l'interface script

Production

  • Enregistrement des résultats dans des fichiers de projet XML
  • Plusieurs options de reporting et exportation personnalisable