高温アプリケーションである耐火性ホウ化物の低kVでの定量化

5 kV で取得した HfB2 の EDS スペクトル;差し込み画像は、100 - 250 eV領域の拡大スペクトルを示しています

超高温(UHT)ホウ化物セラミックスは、極端な環境のために作られた耐火材料の一種です。ハフニウム(Hf)、チタン(Ti)、ニオブ(Nb)、ジルコニウム(Zr)などの遷移金属のホウ化物は、あらゆる材料の中で最も高い既知の融点を持っています。これらは航空宇宙や防衛のアプリケーションに非常に適しています。

B(Z=5)によって放出された蛍光X線がHf(Z=72)によって吸収されるため、EDSを用いたHfB2 の化学分析は難しいものとなっています。さらに、Bの一次のK線(183eV)は、Hf(202eV)のN線と重なっています(図1)。HfB2を正しく定量するには、取得パラメータと定量モデルを慎重に選択する必要があります。本測定では、HfB22は5kVで分析・定量化されています。

図1:5kVで取得したHfB2のEDSスペクトル。挿入図は、100 - 250 eV領域の拡大スペクトルを示しています。