電子顕微鏡アナライザー

QUANTEX EDS(SEM)

SEM, FIB, EPMA 向け EDS

EDSの標準機

高速・汎用性・大きな需要

QUANTAX EDS for SEM

ハイライト

600
kcps
分析スループット
最高の分析速度
121
eV
ピーク解像度
軽元素の分析に最適なエネルギー分解能
4
組み合わせ可能なEDS検出器
複数の検出器や検出器アレイによりスループットを最大化

SEM, FIB, EPMA向けのスリムラインテクノロジーを搭載したEDS

Brukerは、SEMでのEDS測定における性能と機能性の基準を再設定します。新世代のQUANTAX EDS は 、10 ~ 100 mm2のアクティブエリアをもつXFlash® 6検出器シリーズを特徴としています。

第6世代は、ハードウェアとソフトウェアのテクノロジーを駆使し、最も高速で信頼性の高い結果をご提供します。

時間を節約 - 新しいスリムラインテクノロジーの検出器、広面積のSDD、複数の検出器制御、高性能パルス処理が迅速に作業を完了

労力を節約 - 電動化された検出器と軽量設計により、検出器の取り扱いが容易

より高い精度 - 最高のエネルギー分解能が、高精度の分析に最高品質のスペクトルを提供

より良い信頼性 - 世界で最も包括的な原子データベースにより、最も信頼できる低エネルギーピークの識別が可能

より良い正確性 - 定量化のための最も洗練されたアルゴリズムと規格、非規格ベースのメソッドのユニークな組み合わせにより、最高精度の結果を提供

利点

元素分析をより効率的に

個々の顕微鏡への適応、比類のない速度と精度の組合せは最も強力なEDSシステムに導きます。このシステムにはスペクトルイメージングが含まれており、マイクロおよびナノ分析はもはや課題ではありません。

XFlash®検出器ファミリーは、TEM と STEM に最適化されたソリューションです。測定が難しいサンプル向けに作られたユニークなXFlash® FlatQUADも提供します。

さらに、ESPRITの1 つのユーザーインターフェイスで EDS と EBSD、マイクロ XRF、WDS とをシームレスに統合することで、SEM、FIB、EPMA に最も包括的な分析プラットフォームを提供します。

アプリケーション

あなたの分析課題は何ですか?

マントルペリドダイトサンプルのX線元素マップ

SEMベースのEDSによる地質の断面全体の効率的なX線マッピング

SEMのビームとステージを制御しながらEDSマッピングをすることで、鉱物の薄い断面全体の元素分布をたった数分で得ることができます。
Mocs歴史的隕石:流星の亀裂中の硫黄と鉛のデポサイドを示す複合ネット強度マップ

隕石標本の高解像度X線元素マッピング

ブルカー独自のXFlash FlatQUAD EDS検出器を使用する場合には、SEMによる元素分布マッピングにサンプル調製を必要としません。ここでは、あらゆるサンプル調製が禁止されている隕石標本で得られた結果をご紹介します。
5 kV で取得した HfB2 の EDS スペクトル;差し込み画像は、100 - 250 eV領域の拡大スペクトルを示しています

高温アプリケーションである耐火性ホウ化物の低kVでの定量化

超高温(UHT)ホウ化物セラミックスは、極端な環境のために作られた耐火材料の一種です。
AgPbTeBi熱電材料におけるビスマス分離

熱電材料におけるビスマスリッチな結晶粒界の解明

熱電材料は、発電から固体冷却まで幅広い用途を備えています。
炭化タングステン切削工具上のコーティング層のEDSマップとSE画像

タングステンカーバイドの工具へのTiCNハードコーティング

機能性薄膜は、材料の表面特性を強化または変化させるために技術的に重要です。しかし、これらの薄膜と界面の2次元的性質が、信頼性の高い分析を難しくしています。
粗いサンプルの地形および認定された濃度値を有する三元合金のSE-イメージ

粗い表面を持つ材料のEDS定量化

信頼性の高いEDS定量化のために、サンプルと検出器の位置関係についての正確な知識が不可欠です。

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関連資料と出版物