電子顕微鏡用分析装置

SEM用 QUANTAX EDS

XFlash® 7 - 新世代EDS検出器

最適なアングルで理想の分析を

速く 正確に 確実に

ハイライト

1,000,000
cps
最大 1,000,000 cps の分析スループット
比類ない分析速度を実現
> 2,200
元素ピーク
K、L、M、N線を網羅するデータベースを用いて複雑なデータを定量
> 1.1
sr
最高のX線検出立体角
もっとも効率よくX線を検出する最適な配置で最大のスループットを

SEM、FIB-SEM、EPMA用エネルギー分散型X線分析装置

  • ブルカーの新世代QUANTAX EDSはXFlash® 7検出器を中心とする分析システムです。電子顕微鏡X線分析において最高の検出立体角とスループットを実現します。
  • XFlash® 7検出器ファミリーはSEM、TEM、FIB-SEM、EPMA用エネルギー分散型X線分析における性能機能性の新基準となります。
  • XFlash® 7検出器ファミリーはTEMおよびSEMでの薄膜試料のEDS分析にも最適なソリューションを提供します。独自のFlatQUAD検出器は困難なアプリケーションにも対応します。
  • スリムラインテクノロジー、高検出立体角デザイン、最新のパルスプロセッサ、予知保全によるシステムアップタイムの最大化
  • 最高のエネルギー分解能による高品質スペクトル
  • 洗練された定量計算アルゴリズムと独自のハイブリッド定量メソッドによる高い定量精度

利点

元素分析をより効率的に

検出器ごとに最適化されたEDSシステムで高精度な分析結果をより速く。比類なきスピードと正確さを提供します。

最高のスループットにより測定時間を短縮。データサイズの制限なくマップ測定や定量分析が可能。

効率的な検出器配置で困難なアプリケーションに対応

最適な検出器配置による正確で信頼性の高い定量結果

優れた検出限界、低いバックグラウンド、少ない吸収により、より少量の物質を検出

ESPRIT分析ソフトウェアでEDS、WDS、EBSD、micro-XRFをシームレスに統合
あらゆるSEM、FIB-SEM、EPMAに対応

アプリケーション

アプリケーション例

Element distribution map of volcanic rock

Determining Magmatic Evolution using SEM EDS

The magmatic evolution of volcanic minerals over tens of thousands of years of volcanic minerals can be analyzed using SEM EDS. Discover more about the history of geological samples in just a few minutes. 
高分解能SEM-EDSマップ

銅器時代の製錬容器のSEM-EDS元素分析

工芸品や文化遺産は私たちの過去を解き明かします。SEM-EDSはその歴史をより深く理解するための手掛かりになります。
イラクサのSEM-EDS元素マップ

デュアルEDS検出器を用いたイラクサの元素分析

生体試料は電子線ダメージを受けやすく、形状が複雑でX線シグナル強度も低いため、高速・非破壊分析は困難です。デュアルEDS検出器はこの問題を解決します。
接合部のライブ元素マッピング

Al-Si合金中のSn-Cu接合部のライブ元素マッピング : ESPRIT LiveMap

ライブ元素マップを使用して広範囲をスキャンし、EDSなどの分析を行う対象領域を素早く決定することができます。
溶接欠陥部のEDSマップ

Zrとステンレスの溶接部の高速元素マッピング

ジルコニウムとステンレスの溶接は、さまざまな相の形成や熱影響部 (HAZ) からの元素の拡散を伴う難易度の高い手法です。新しいXFlash検出器を使用した高速EDS元素マッピングにより、溶接部の局所構造や潜在欠陥を素早く確認することができます。
重ね合わせEDSマップ

ウエハーのエッチング後の残留Si、Wの高速元素マッピング

新世代XFlash®検出器で高入力カウントレート(ICR)でのマッピングが可能になります。ピークが重なる元素(SiとW)の高カウントレートでのマッピング例を示します。

SEM-EDS元素分析のアプリケーション例

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