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電子顕微鏡用分析装置

TEM用 QUANTAX EDS

XFlash® 7T - ナノの世界を彩る: TEM、STEM用 EDS検出器

原子レベルのナノ構造

電子顕微鏡ごとに最適化された検出器レイアウト

80
keV
最高の検出エネルギー範囲
すべての元素を明確に同定・定量
3
種
TEM用定量モデル
理論的および実験的クリフロリマー因子、ゼータ因子に基づく強力なTEM用定量手法を手軽に利用可能
1
Å
優れた空間分解能
ドリフト補正による高い安定性で原子や層などの周期構造をマッピング

透過電子顕微鏡でのナノスケール元素分析

お問い合わせ フライヤーをダウンロード

直観的なユーザーインターフェースで操作しやすく柔軟なESPRITソフトウェア

測定機器の使用時間を節約できるオフライン分析オプション

洗練されたEDS定量分析で測定データから情報を抽出 : 

  • 選択可能な定量手順 : 手軽に使用できる自動定量機能、カスタム条件設定、定量レシピの読み込み、カスタマイズおよび保存
  • 理論的および実験的クリフロリマー因子、ゼータ因子、ゼータ因子の補完機能を網羅した3種の定量メソッド
  • TEMならではの40 keV以上の高エネルギーピークを用いた明確な定量分析
  • 3種のバックグラウンドモデルが選択可能 : バルク試料用理論モデル、薄膜試料用理論モデル、数学的モデル
  • クリフロリマー定量では吸収補正を利用可能

TEM、STEM、SEM（T-SEM）での薄膜試料の高空間分解能元素分析

  • 長年の実績に基づくスリムライン検出器デザインとそれぞれの顕微鏡ポールピースへの検出器配置の最適化により最適なソリューションを実現します
  • 最高の検出立体角と取り出し角による高速・高感度データ取得
  • 高速動作する安定な検出器ステージ
  • ナノスケールでのEDS分析に効果的なドリフト補正機能 
  • 顕微鏡内加熱実験などの一連のデータを記録する時系列測定機能
  • スクリプト機能やAPIオプションを用いた測定・分析の自動化により分析ルーチン作成やバッチ処理が可能
  • 機械的干渉・電磁的干渉を抑えた検出器設計、試料傾斜、吸収、シャドーイング、システムピークを抑えた高品位なデータを取得し、測定後の補正を最小化
  • 最も洗練された薄膜試料用EDS定量分析で測定データから明確な分析結果を抽出
  • 長年のTEM-EDS分析の実績に基づく高品質なサポートとトレーニング により装置を最大活用

新世代TEM用EDS検出器 XFlash® 7 で最高の結果を

© Image and sample courtesy of Michael Malaki, Shamail Ahmed; Material Science center, Faculty of physics, Philipps University Marburg

コーティングされたリチウムイオン電池正極材料のEDS分析

固体電池やリチウムイオン電池の容量維持率はNCM粒子のコーティング構造によって向上します。このナノメートル厚のコーティングを制御するためには元素分布を知る必要があります。 不規則な表面形状のミクロンサイズ正極粒子に対して、SEM-EDSおよびTEM-EDSでナノメートル空間分解能のEDS分析を行った結果をご紹介します。

電池材料のTEM-EDS分析

TEM-EDS元素分析のアプリケーション例

半導体
NiSi(Pt)から得られたスペクトルの低X線エネルギーでのデコンボリューション結果

NiSi(Pt)-NiSi2半導体構造におけるPtの定量化

本アプリケーション例は、Pt合金化NiSi薄膜のエピタキシャル成長からのEDSデータを示す。NISiは、MOSFETのような半導体デバイスのnmサイズのメタライゼーション構造に使用されます。
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レイヤーシステムの混合要素マップ

層状構造の化学相解析

多くの場合、サンプルのより鮮明な画像を得るために、元素マップをさらに処理することが有利である。
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ナノワイヤのEDSスペクトル、AuとPのデコンボリューションを示す

ナノワイヤの化学的特性評価

ナノワイヤ、ナノロッド、機能化されたナノビークルなどのナノ構造は、ナノエレクトロニクスや体内のドラッグデリバリーなどのナノテクノロジーの分野で関心が高まっています。
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グラフェン中の単一シリコン原子

グラフェン上の単原子の識別

単原子のスペクトルを取得することは、EDSの最高技術であるだけでなく、特定の元素の励起特性に関する貴重な新しい情報を提供することでもあります。
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相互接続構造の高角環状暗視野画像

半導体のインターコネクトの化学組成

一般的なSTEMに30mm2の検出器を用いた標準のEDSまたはEDXは、数分以内にナノメートルオーダーの解像度の元素マッピングを提供することができます。検出器のヘッドがスリムライン設計で十分に小さく、高い立体角を得るためにサンプルに近づき、高い取り出し角を得るためにサンプルから十分高くなることです。後者は、影と吸収の影響を排除するのに役立ちます。
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RAMマイクロチップ元素分布マップ

TEM-EDSを用いた半導体RAMマイクロチップの超高分解能マッピング

半導体材料の元素分布は、TEMによるEDSマッピングによりナノスケールで達成できる。
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ナノマテリアル
酵母細胞の明るいフィールド画像と単一要素マップ

磁気ナノ構造のマッピング

この標本は、タンタル(Ta)のnm-thin層、ルテニウム(Ru)、コバルト(Co)、白金(Pt)、クロム(Cr)および酸素(O)の混合物でコーティングされたSiO2球体で構成されています。
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酵母細胞の明るいフィールド画像と単一要素マップ

Pd-Pt コアシェル粒子の定性的および定量マッピング

コアシェル粒子は、ナノテクノロジーの中でも特に触媒において、ますます重要な役割を果たしています。このアプリケーション例では、Pd-Pt コアシェル粒子の元素マップを示します。
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INGaAS半導体構造のHAADF画像と強度ラインスキャン

アトムカラムEDS分析

半導体の特性は、原子レベルの構造によって、例えば点の欠陥によって決定される。可能な限り高い解像度でEDSマッピングを使用すると、そのような欠陥を見つけて特徴付けすることができます。
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バイオマテリアル / ソフトマテリアル
クリフ・ロリマー因子キャリブレーションに使用されるLaB6規格のスペクトル

LaB6を例にした定量分析

ランタンヘキサホウ化物(LaB6)は、極度の極値(B)と重元素(La)の2つの極端な値を含むため、S/TEMにおける定量EDS分析の非常に例示的な例である。
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酵母細胞の明るいフィールド画像と単一要素マップ

ライフサイエンス向けのEDS

S/TEM の EDS は、材料内の複数の元素を一度に決定する必要がある場合に特に便利です。これは、かなりの数のライフサイエンスのアプリケーションに当てはまります。
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ヒト血球中のマラリア原虫

酵母細胞におけるヒト血液中のマラリア原虫の化学と免疫標識

透過型電子顕微鏡(STEM)におけるエネルギー分散型X線分光法(EDX、EDSまたはEDXS)は、細胞や組織イメージングなどの生命科学において貴重なデータを提供することができます。EDSに使用されるシリコンドリフト検出器は、低エネルギー領域で非常に敏感になっているため、カルシウム、酸素、窒素、硫黄などのライフサイエンスに関連する少量の光元素の検出が日常的に可能になりました。
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その場分析
In-situ element map

In-situ Element Mapping at Elevated Temperatures

The use of heating holders, or any other in-situ reaction cells, which are suitable for electron microscopy and EDS, allows to monitor the effect of materials treatment in-situ or in-operando in the electron microscope. This means that information on changes in structure and element composition is available qualitatively and quantitavely with high spatial resolution.
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Individual Heteroatom Identification - Sulfur atom with color scale EDS on TEM

X線分光法による個別の異原子同定

ナノスケール材料における個々のヘテロ原子は、材料特性において重要な役割を果たすことがよくあります。材料特性を最大限に制御するには、研究者は、様々な厚さと組成を有するサンプル中の多様な異種を検出し、同定できる必要があります。
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ウェビナー動画

XFlash 7 EDS detector series element analysis EDS
ON-DEMAND SESSION - 35 MINUTES

Introducing the XFlash® 7 EDS Detector

In this webinar we present the benefits of this new detector series and discuss specifics of microscope detector geometries. We also show examples of data acquisition and analysis across different fields of application. 
Element distribution in FIB lamella by SEM EDS
ON-DEMAND SESSION - 57 MINUTES

Optimizing Semiconductor-based LED Devices Using EDS of Electron Transparent Specimens in STEM/SEM

The understanding of semiconductor structures on the nanoscale mostly needs high-end analytical scanning transmission electron microscopy including the respective method combination and complex specimen preparation. Here UV-LEDs have been recently tested for skin-tolerant inactivation of SARS-CoV-2 and multi-resistant bacteria.
Significance of STEM-EDXS Analysis in the Characterization of Rechargeable Battery Components
ON-DEMAND SESSION - 49 MINUTES

Significance of STEM-EDXS Analysis in the Characterization of Rechargeable Battery Components

Discussing the use of STEM-EDXS to identify sulfur impurities inside nanopores and at grain boundaries that otherwise go undetected in EELS.

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