电子显微镜分析仪

TEM QUANTAX EDS

XFlash® 7T - 纳米尺度上的彩色图像: 用于 TEM 和 SEM STEM 的 EDS

单原子与纳米结构

使每一台电子显微镜都能物尽其用

80
keV
业界领先检测能量范围
对所有元素进行精确的定性定量分析
3
TEM- 定量分析模型
基于理论和经验结合的 Cliff-Lorimer 因子以及Zeta- 因子修正的定量方法已经在 TEM, STEM 和 T-SEM 中成功验证
1
Å
性能稳定
使用增强的漂移校正功能可对周期性结构 (原子,层状结构) 进行稳定的元素面分析

透射电子显微镜中的纳米尺度元素分析

灵活易用的分析软件包 Esprit 具有开放的用户界面,简洁直观。

离线分析选项 可通过独立的系统或实验室局域网等进行离线的数据分析。

成熟的定量分析能谱数据采集系统:

  • 不同的定量步骤选择:初阶的推荐配置,个性化设置,详细的修正方法以及可以存贮/调用的预设方法。
  • 基于理论和实验的三种不同的定量方法 Cliff-Lorimer 因子法,Zeta- 因子法和修正的 Zeta- 因子法覆盖了所有可能的应用场景。
  • TEM- 专有的40 keV以上的元素谱线 保证了定量分析结果的确定性。
  • 三种扣背底方法:用于块状样品的物理扣除法,用于薄样品的物理扣除法以及数学模型法。
  • 吸收校正 已经包含在 Cliff-Lorimer 定量分析之中。

TEM,STEM 和 SEM (T-SEM) 中薄样品的高空间分辨率的元素面分布

  • Slim-line探头设计,针对不同型号电子显微镜 (STEM,TEM,SEM) 极靴和 EDS 法兰的专门设计保证了每一款 EDS 都处于最佳的工作状态。
  • 更大的采集立体角和检出角保证了数据采集的速度和灵敏度。
  • 精准且快速的探头移动系统。                        
  • 独特的漂移校正方法保证了周期性特征的纳米尺度 EDS 分析。
  • 原位动态实验的时间分辨数据采集方法 可以保存持续变化的数据流,例如,持续升温实验的数据。
  • 使用脚本和API选项进行自动数据采集和分析可以对指定的多项分析工作进行批处理。
  • 干净的原始数据无须后期校正 完全隔离了振动和磁场的干扰,样品倾斜,吸收,阴影效应和系统峰都降至更小。
  • 经过时间验证的 EDS 数据定量方法 为透射电镜样品提供全面,精准的测试数据。
  • 更好的培训体系 帮助用户把TEM系统用到极致。

使用 TEM 的新一代XFlash® 7 EDS探头得到的结果

© Image and sample courtesy of Michael Malaki, Shamail Ahmed; Material Science center, Faculty of physics, Philipps University Marburg

使用 EDS 分析锂电池阴极材料颗粒的包覆层

NCM阴极材料 (SSB 和 LIB) 的保留电容可以通过包覆层结构来改善。为控制这些纳米级包覆层的品质,一定要了解其元素分布情况。此处是我们使用 SEM/TEM -能谱对这种表面不规则的微米级阴极材料颗粒的分析结果,显示出了纳米级的分辨率,同时也给出了 SEM/TEM EDS 的对比。

基于 TEM 的元素分析在不同领域中的应用