クローズドループスキャナー

ブルカーは、ハイジトロンTI 950トライボインデンタ―にクローズドループスキャナを追加するオプションを提供しています。クローズドループスキャナは、スキャン範囲を拡大し（X-Y：100μm、Z：15μm）、スキャナの湾曲を極めて低くし、99.95％以上の直線性を実現します。

クローズドループスキャナは、リアルタイムの位置フィードバックを提供し、わずか数ミリ秒で設定が完了します。また、リアルタイム位置フィードバックとサブナノメータノイズ性能のために容量性センサを利用することで、ピエゾのクリープとヒステリシスを排除します。

クローズドループスキャナのオプションは、高精度かつ高速でナノメートルの数分の1の刻みで移動する能力を提供することで、困難なアプリケーションに最適です。

クローズドループスキャナの超高速な沈降時間と迅速な位置決め応答により、研究者は、オープンループモードで動作している場合と比較して、2倍から3倍の速度で圧電自動化実験を実行することができます。さらに、ピエゾドリフトがないため、小さな表面形状を識別してターゲットにするプロセスが簡素化されます。クローズドループスキャナは、目的の表面形状にプローブを正確に位置決めする機能を提供します。