닫힌 루프 스캐너

브루커는 하이시트론 TI 950 트리보인테에 폐쇄 루프 스캐너를 추가하는 옵션을 제공합니다. 폐쇄 루프 스캐너는 매우 낮은 스캐너 활과 99.95 % 이상의 스캔 선형성을 가진 증가 된 스캔 범위 (X-Y : 100μm, Z : 15μm)를 제공합니다.

폐쇄 루프 스캐너는 실시간 위치 피드백을 제공하며 정착하는 데 밀리초밖에 걸리지 않습니다. 또한 실시간 위치 피드백 및 나노미터 이하 노이즈 성능을 위해 정전용량 센서를 활용하여 압착 기및 히스테리시스를 제거합니다.

폐쇄 루프 스캐너 옵션은 고정밀 및 속도로 나노미터의 분수만큼 작은 단위로 이동할 수 있는 기능을 제공함으로써 어려운 응용 분야에 이상적입니다.

클로즈루프 스캐너의 초고속 정착 시간과 빠른 포지셔닝 응답을 통해 연구원은 오픈 루프 모드에서 작동하는 동안보다 2배에서 3배 빠른 속도로 압조 자동화 실험을 실행할 수 있습니다. 또한, 압압 드리프트의 부재는 작은 표면 피처를 식별하고 타겟팅하는 과정을 단순화합니다. 폐쇄 루프 스캐너는 원하는 표면 피쳐에 프로브를 매번 정확하게 배치하는 기능을 제공합니다.