MultiRange NanoProbe
マイクロインデンテーションに対応し、高荷重領域での評価を可能に
ナノスケールからマイクロスケールまでの幅広い押し込み試験を
MultiRange NanoProbeは、ナノインデンターの荷重レンジと変位レンジを拡張し、インデンテーション測定をマイクロスケール領域まで広げます。
独自のピエゾ抵抗式センサー技術を採用することで、高荷重・大変位のインデンテーション評価を可能にします。これにより、マイクロスケールの機械特性評価、破壊靭性評価、界面密着性評価などに有効なソリューションを提供します。
マイクロインデンテーションに対応したMultiRange NanoProbe
コーティング膜のMultiRange NanoProbe測定結果。約850 mNでコーティング膜の剥離が発生していることを示しています。
スケールを超えてつながる機械特性評価
MultiRange NanoProbeは、ナノスケールからマイクロスケールまでをシームレスにつなぐ定量的なインデンテーション評価を実現します。
静電容量型変位センサーとピエゾアクチュエータを組み合わせたクローズドループ制御により、優れた測定安定性と低い熱ドリフトを実現します。また、用途に応じて最適化されたトランスデューサ設計により、最大10 Nの垂直荷重に対応します。