TTMモジュール(環境対応レンズ)

保護包装、環境チャンバー、その他の分散性材料を通して高分解能測定が実現

デモンストレーションまたはお見積りをご希望の方は、ブルカーにお問い合わせください。

TTMwithpackage
TTM 02
R&D 100アワードを受賞したTTMモジュールは、3つの対物レンズ(2X、10X、20X)により1Xから40Xまでの倍率に対応できる。スライドガラスを手動で簡単に交換できるため、幅広い厚さの材料に柔軟に対応可能。

ブルカーのTTMモジュールのおもな特徴

  • 厚さ3mmまでのガラスなどの材料を通したサンプル測定が可能
  • 40Xまでの測定を可能にする革新的な照明
  • 多くの倍率および補正材料に対応する汎用的なハウジング
  • ディープトレンチ測定で25:1のアスペクト比を実現する20X対物レンズ
  • MEMS、材料科学、生物学アプリケーションなどに対応

3mmカバーガラスを用いた20umのステップハイト標準サンプル

TTMon Standard

イメージAは、標準的な対物レンズを用いて、3mmのカバーガラスをのせて、20umのステップハイト標準サンプルをイメージングしたものです。イメージBは、TTMモジュールを用いて、同じ3mmのガラスを通してイメージングしたものです。

TTMモジュールの仕組み

TMTschematic

透明フィルムや包装材料に起因する干渉縞を補正するために、同じ材質および厚さのガラスをビームスプリッターと参照鏡(水色のボックス)のあいだに挿入します。これにより、デバイスの包装材に起因する干渉が効果的に除去されます。

200umガラスを用いたMEMSデバイス

TTMon MEMS-without-with

左のイメージAは、TTMモジュールを使用しない3Dイメージを示しています。右のイメージBは、TTMモジュールを用いた10Xイメージです。優れたコントラストと高品質の分解能が得られています。

MEMS-3Dfor TTM

上のイメージは、10X TTMモジュールを用いたインタクトMEMSデバイスの3Dデータセットです。

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