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薄膜とコーティング

定量的ナノ機械的特性およびナノトライボロジー特性評価による薄膜およびコーティング性能の最適化

近年、薄膜化や表面コーティングにより材料に特性を付与することで様々な高機能材料が開発されています。薄膜化や表面コーティングを行う際にはそのプロセスの開発、スケールアップが課題となりますが、それと同時に作製した材料の特性評価手法が課題となります。例えば、磁気記憶媒体や半導体デバイスなどの一部の業界では超薄膜を利用し材料特性を付与していますが、そのような材料の場合、厚みの薄さゆえ定量分析する際のノイズフロアを極めて低く抑えた評価手法を選択する必要があります。また、腐食および摩耗保護のためのコーティング膜の場合、その微小構造はさまざまなため、局所的な特性を正確に測定する必要があります。

ブルカーは薄膜およびコーティングの開発に役立つ数多くの評価を可能としたナノインデンテーションシステムをご提供します。超薄膜の機械的特性、高温での耐摩耗性コーティングのトライボロジー特性、ポリマーコーティングの深さ方向の粘弾性特性などナノスケールからマイクロスケールの様々な特性評価技術を通じて、皆様の材料開発に貢献します。


薄膜・コーティングの機械的特性評価

Ultra Thin Films 300x225 Bruker

超薄膜(<50nm)

<厚さ<50nm。

Thin Films 300x225 Bruker

薄膜(50nm〜500nm)

厚さ50 nm~500 nm

Coatings 300x225 Bruker

[Bitte nach "Japanese" übersetzen:]

Coatings (>5μm)

>5µm nominal thickness.