Interfacial Adhesion Banner 1154x400px

界面接着特性

薄膜やコーティングの定量的界面接着特性評価

ナノインデンテーション測定およびナノスクラッチ測定は基板上の薄膜の界面接着特性評価に用いられる一般的な手法です。基板上の薄膜に対しこれらの手法により、一定の荷重を加えることで層間剝離などを発生させます。その際の荷重、変位の解析を行うことで界面接着特性評価を行います。ナノインデンテーション試験の場合、押し込み試験により薄膜の座屈や層間剝離などを引き起こして、変形の生じた寸法や荷重などを用いて界面接着特性を評価します。ナノスクラッチ試験の場合、圧子を用いて試料表面に対し荷重や変位を制御しながらスクラッチを行います。層間剥離などが生じた際には計測している荷重などに変曲点が認められるため、その点の荷重を界面接着の臨界荷重として、界面接着エネルギーの評価に用いることができます。これらの試験手法を用いることでナノスケールの薄膜について高速で信頼性が高い定量的な界面接着特性評価を実施可能です。

ブルカーのナノインデンテーションシステムは界面接着特性評価においても正確かつ安定的な測定が可能です。ブルカーが特許を取得している静電容量型トランスデューサー技術は高感度で荷重と変位を計測します。このことはナノメカニカルテスト中の剥離発生を検出するために極めて重要です。また、in-situ SPMイメージング機能により試験に用いた圧子で試験後にそのまま表面形状像を取得し、材料の変形挙動を観察することができます。 さらに測定、解析を行うTriboScan™ソフトウェアパッケージは、界面接着特性評価における臨界荷重などを識別しやすいようにするために、スケールなどの変更が柔軟にできるよう設計されています。オートメーション測定機能を用いることで多点測定がスムーズに実施できるため、界面接着特性のナノスケールでのマッピングも迅速に取得できます。ブルカーの技術は厚み数ナノメートルの極薄フィルムの界面接着特性も安定的、定量的に測定することを可能にしました。

界面接着特性を評価可能な独立型ナノインデンテーションシステム

TI980 Tool Image v5

TI 980 TriboIndenter

ブルカーの最先端のナノ力学特性、ナノトライボロジー特性評価装置。最大の性能、順応性、信頼性、感度、測定スピード。

TI950 Tool Image v5

TI 950 TriboIndenter

多用途に使用可能なナノ力学特性、ナノトライボロジー特性評価装置。幅広い複合評価をご提供可能。

TI Premier icon

TI Premier

コンパクトなプラットフォームでナノスケールの力学特性評価のエッセンスを詰め込んだナノ力学特性評価専用装置。

PI 85l SEM Picoindenter icon

PI 85L SEM PicoIndenter

SEM(走査電子顕微鏡)中で行うin-situナノ力学特性評価ベーシックモデル

 

TS 75 Product image v1

TS 75 TriboScope

ブルカーのAFM(原子間力顕微鏡)に取り付けてナノインデンテーションを行う専用アタッチメント

PI 88 SEM Picoindenter icon

PI 88 SEM PicoIndenter

SEM、FIB/SEM中で行うin-situナノ力学特性評価ハイエンドモデル

 

PI 95 TEM Picoindenter icon

PI 95 TEM PicoIndenter

TEM(透過電子顕微鏡)中で行うin-situナノ力学特性評価モデル

 

TS 75 Product image v1

TS 75 TriboScope

ブルカーAFM(原子間力顕微鏡)に取り付けてナノインデンテーションを行う専用アタッチメント