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DIFFRAC.LEPTOSソフトウェア

LEPTOSは、X線反射率測定(XRR)、高分解能XRD測定(HRXRD)、視斜角入射小角X線散乱(GISAXS)、残留応力測定(RS)のデータを包括的に解析するソフトウェアスイートです。

XRRはサンプルの仮想的な密度勾配、膜厚、表面・界面ラフネスの詳細情報を提供します。HRXRDはエピタキシャル薄膜の結晶学的な構造を評価します。GISAXSはナノパーティクルや多孔度の評価に使用されます。残留応力解析はバルクサンプルやコーティングサンプルの歪み状態を明らかにします。

従来の単独データのみならず、HRXRDやXRRの逆格子空間マップデータ、GISAXS2やXRD2応力測定フレーム、さらにはHRXRD、XRR、残留応力の面内多点測定結果を自由自在に取り扱うことができます。 0D、1D、2D検出器のいずれで測定されたかを、気にする必要はありません。

 

グラフィカルユーザーインターフェース(GUI)は、エキスパートユーザーと産業用途に切り替えることができます。

 

 

  • 複数のXRR、HRXRD、GISAXS、残留応力測定データの一括解析機能
  • 回折空間、逆格子空間に関わらない格子ミスマッチ計算、シミュレーション、フィッティング解析を支える先進的なX線散乱理論
  • 0D、1D、2D検出器のデータを自由自在に解析処理可能
  • さまざまな薄膜およびバルクサンプルをパラメータ化するためのユニバーサルサンプルモデルエディタ
  • 230すべての空間群に対応する包括的かつ拡張性の高いマテリアルデータベース
  • 試料面内複数点で測定された結果をビジュアライズするエリアマッピングツール
  • 1次元または2次元データを用いたsin2ψ法解析と、すれすれ入射測定と組み合わせた複数指数法 (Multiple-HKL法)