software, X-ray diffraction, DIFFRAC.SUITE

LEPTOS H: 高分解能XRD解析モジュール

LEPTOS Hは高分解能X線回折 (High-Resolution X-ray Diffraction: HRXRD) や視斜角入射X線回折 (Grazing-Incidence X-ray Diffraction: GIXRD) データ解析用モジュールです。

 

このモジュールはLEPTOSソフトウェアスイートに完全統合され、X線反射率 (XRR) や視斜角入射SAXS (GISAXS)の測定結果の解析に組み込むことができます。LEPTOSソフトウェアスイートの1モジュールとして、パッケージ全体と共通のルック&フィールと操作感を有しています。

LEPTOS H Software, XRD
LEPTOS H contains an Area Mapping module that makes it possible to treat HR-XRD data taken point-by-point over a large sample area and to display mappings of sample parameters.

HRXRD理論

  • Takagi-Taupinアプローチの限界を打ち破る、高速2×2および精密4×4 Recursive Matrix Formalism (RMF)
  • 原子散乱因子やX線分極率など、結晶および非晶質材料からのX線散乱パラメータの統一的計算方法
  • 人工超格子や繰り返し積層膜などの計算を劇的にスピードアップする特許技術のMethod of EigenWaves (MEW)

サンプルモデルエディター

  • 人工超格子構造や、各パラメーターのリンク機能、ユーザー指定の層プロファイルなど、強力で柔軟なサンプルモデルエディター機能
  • 拡張性の高いユーザー登録可能なマテリアルデータベース
  • 格子歪みや格子ミスマッチ、緩和率、組成、密度など、結晶学的特質の自動最適化を行うCell Builderエンジン
  • X線回折計の分解能と試料へのX線照射幅を定義するバーチャル回折計機能

データ解析

  • 回折空間および逆格子空間におけるシミュレーション、エスティメーション、フィッティング解析
  • ひとつのサンプルにおける複数の異なる回折指数への同時一括解析
  • 測定結果から直接膜厚を瞬時に判別する高速フーリエ変換 (FFT) 機能と、ピーク位置からサンプルパラメーターを見積もるエスティメーション機能
  • 先進的な動力学的理論に基づくあらゆるサンプルパラメーターの精密フィッティング解析機能。搭載フィッティングアルゴリズム: Genetic Algorithm, Simulated Annealing, Simplex, Levenberg-Marquardt
  • 結晶単位格子の非極性配向や異なる{HKL}反射の仮定
  • スクリプト自動処理に対応したウェファーマッピング解析機能

レポート出力

  • XMLベースフォーマットでのプロジェクトファイル保存
  • レポーティングオプションとユーザーエディット機能