software, X-ray diffraction, DIFFRAC.SUITE

LEPTOS R: 反射率解析モジュール

LEPTOS Rは薄膜積層構造に由来するX線反射率測定結果 (X-ray Reflectivity: XRR) や、散漫散乱測定結果 (Diffuse Scattering: DS) の解析用モジュールです。このモジュールはLEPTOSソフトウェアスイートに完全統合され、高分解能XRD (HRXRD) や視斜角入射SAXS (GISAXS)の測定結果の解析に組み込むことができます。LEPTOSソフトウェアスイートの1モジュールとして、パッケージ全体と共通のルック&フィールと操作感を有しています。

 

LEPTOS RはVAMASプロジェクトA10を含むいくつかの国際基準で高い評価を受けています。LEPTOS Rは、XRR測定結果のデータ形式のために新しく開発された国際的なrfCIF標準に準拠しています。

LEPTOS R Software, XRD
With LEPTOS R diffuse scattering rods and rocking curves can be fitted both as a separate curve and as a consistent set of several curves in any combination of transverse and longitudinal scans.

XRR理論

  • 多層膜構造からの反射率強度をシミュレーションする動力学的Parrateの漸化式と散漫散乱強度をシミュレーションする歪曲波ボルン近似 (distorted-wave Born approximation: DWBA) を用いたフィッティング解析
  • 異なる成長モルフォロジーを有するサンプルにおける多彩な界面ラフネスモデル
  • 原子散乱因子やX線分極率など、結晶および非晶質材料からのX線散乱パラメータの統一的計算方法
  • 人工超格子や繰り返し積層膜などの計算を劇的にスピードアップする特許技術のMethod of EigenWaves (MEW)

サンプルモデルエディター

  • 人工超格子構造や、各パラメーターのリンク機能、ユーザー指定の層プロファイルなど、強力で柔軟なサンプルモデルエディター機能
  • 拡張性の高いユーザー登録可能なマテリアルデータベース
  • X線回折計の分解能と試料へのX線照射幅を定義するバーチャル回折計機能

データ解析

  • 面法線および面内方向のラフネス相関モデルによる散漫散乱強度シミュレーションフィッティング:鏡面反射条件および非鏡面反射条件を首尾一貫した解析に対応
  • 回折空間および逆格子空間におけるシミュレーション、エスティメーション、フィッティング解析
  • 膜厚を瞬時に判別する高速フーリエ変換 (FFT)
  • 4つのフィッティングアルゴリズム (Genetic Algorithm, Simulated Annealing, Simplex, Levenberg-Marquardt ) を備えるサンプルモデルフィッティング解析
  • スクリプト自動処理に対応したウェファーマッピング解析機能

レポート出力

  • XMLベースフォーマットでのプロジェクトファイル保存
  • レポーティングオプションとユーザーエディット機能