software, X-ray diffraction, DIFFRAC.SUITE

LEPTOS S: 残留応力解析モジュール

LEPTOS Sは、従来のsin2ψ法と拡張XRD2法を使用して、0D、1Dまたは2D検出器で測定された残留応力解析用の、革新的でパワフルで包括的なモジュールです。このモジュールはLEPTOSソフトウェアスイートに完全統合され、パッケージ全体と共通のルック&フィールと操作感を有しています。

LEPTOS S Software, XRD
Residual stress gradients can be calculated from multiple {hkl} measured at different grazing-incident angles. The absorption and refraction of X-rays, as well as the coating thickness, are taken into account for the calculation.

データ解析

  • 5つのピーク位置決定手法: 重心法 (Gravity), 移動重心法 (Sliding Gravity), 放物線フィッティング, Pseudo-Voigt関数フィッティング, Pearson VII関数フィッティング
  • 包括的なデータ補正機能: 吸収補正, バックグラウンド補正, 変更補正, スムージング, Kα2除去
  • 材料の弾性定数やX線的弾性係数 (X-ray Elastic Constants: XEC) を含む、編集可能なマテリアルデータベース
  • 各種応力モデル (一軸, 一軸+剪断, 平面二軸, 平面二軸+剪断, 三軸) に対応した応力テンソル計算
  • 1次元プロファイル積分ツールを用いたXRD2法とsin2ψ法の比較
  • スクリプト自動処理に対応したウェファーマッピング解析機能

残留応力理論

  • 従来的および拡張sin2ψ法およびXRD2
  • 複数回折ピークを用いたMultiple-HKL残留応力解析法
  • 視斜角入射法を用いた応力/歪み傾斜解析

レポート出力

  • sin2ψ線図は、歪み (εφψ)、格子面間隔 (dφψ)、回折角 (2θ) から選択可能
  • 試料軸系と主応力軸系とを変換する軸方位行列
  • Lameの楕円体表示機能
  • XMLベースフォーマットでのプロジェクトファイル保存
  • レポーティングオプションとユーザーエディット機能