층구조의 화학상 분석

사전 지식을 적용하지 않고 화학 상의 존재에 대한 하이퍼 스펙트럼 이미지를 확인하는 것이 유리할 수 있습니다. 브루커의 ESPRIT 자동 위상은 스펙트럼의 원리 구성 요소 분석을 기반으로 하이퍼맵을 분석하여 유사한 조성물의 표본 영역을 자동으로 찾습니다. 이 절차의 감도를 조정할 수 있습니다. 이 방법은 단면의 다층 구조를 예로 사용하여 보여 지습니다.

첫 번째 이미지는 시편의 정량 혼합 원소 맵을 나타내며, 두 번째 이미지는 기존의 뚜렷한 화학 적 위상 중 일부를 나타낸다. 이러한 절차또는 절차에 의해 전체 맵을 추가 분석하는 동안 하나의 화학 상으로 처리되어야 하는 특정 시편 영역을 할당하여 자동으로 찾을 수 있습니다. 어느 쪽이든 발견되는 단계의 조성물은 후자가 알려진 경우 기존 특정 물질에 기인할 수 있습니다. 전체 맵의 위상 분석에 사용되는 시편 영역의 정의 또는 "할당"은 시편에 대한 사전 지식 또는 제1 가정에 의해 얻은 정보를 기반으로 덜 AutoPhase 실행될 수 있다.

데모의 경우 첫 번째 AutoPhase 실행 후 요소 맵의 흥미로운 대표 영역 3개가 여기에 할당되었습니다. 이 영역은 두 개의 큰 사각형과 더 작은 원형 영역으로 표시됩니다. 전체 맵에 대한 다음 AutoPhase 실행의 결과가 두 번째 이미지에 표시됩니다. Zn 및 Cd 콘텐츠의 다른 두 단계, 영역 1 및 영역 3에서 정의된 연구의 실제 관심은 전체 맵 전체에 올바르게 배치되었습니다. e-빔 노출로 인한 샘플 표면의 탄소 오염이 발견되었으며, 이전에 지역 2에 의해 할당된 것보다 다른 장소에서도 다른 특정 단계로정확하게 위치하였다. 왼쪽의 회색 영역은 미리 할당된 세 단계와 다르게 구성되므로 할당할 수 없습니다. 오른쪽층은 2지역에 할당된 오염 지점과 유사한 종을 포함하는 것으로 보인다. 감도를 증가시킴으로써 절차의 추가 구체화는 2상으로 표시된 스팟과 오른쪽 레이어 사이의 가능한 차이점에 대해 더 많은 것을 드러낼 수 있다.