광물학 샘플의 넓은 영역 매핑
SEM을 사용하는 대면적 매핑(Hypermaps)은 표준 SEM 단계의 느린 이동으로 인해 방해받을 수 있습니다. 또한, 분석 중에 전자 빔의 분산 및 시료 상호 작용으로 인해 낮은 배율에서 잠재적인 X선 신호 강도 아티팩트가 있다. 이는 WDS 분석과 특히 관련이 있으며 BSE 이미지 또는 EDS 요소 강도 맵에서도 관찰할 수 있습니다.
Rapid Stage는 SEM을 위해 특별히 설계되어 밀리미터(mm) 에서 센티미터(cm) 스케일에 대한 넓은 면적 매핑을 가능하게 합니다. 이렇게 하면 배율 이적은 매핑과 관련된 잠재적인 SEM X선 강도 변형 아티팩트가 제거되므로 이전에는 불가능했던 정중한 영주에서 원소 및 광물학적 정보를 향상시킵니다. 래피드 스테이지는 마이크로 XRF와함께 작동합니다.
래피드 스테이지는 최대 분석 면적50mm x 50mm를 가지며, SEM 단계와 함께 확장하여 모든 SEM 챔버 내에서 허용되는 최대 가능한 간격 영역을 포괄할 수 있습니다. SEM을 사용하는 기존의 넓은 영역 분석은 다양한 시야 필드를 함께 모자이크하여 각 개별 필드가 빔을 래스터링하여 매핑되는 넓은 영역 맵을 만듭니다. 시료와 상호 작용하는 소스 X선 빔은 고정된 위치에 있으므로 표준 SEM e-빔으로 래스터로 제어할 수 없습니다.
따라서 모든 매핑은 스테이지 컨트롤(즉, 스테이지 이동)을 통해 진행됩니다. 따라서 Rapid Stage를 사용하면 SEM 스테이지를 지점에서 지점으로 이동하는 것보다 크기가 거의 빠른 순서를 매핑할 수 있습니다. 도 1(콘크리트), 도 2(이국적인 Cu), 도 3(토양 암반)에 도3이 도시되어 있다.
