나노 기계 테스트

3D 옴니프로브

나노 들여쓰기 및 미세 식별 테스트 기술을 3차원 특성화의 세계로 가져오기

마이크로스케일에서 나노스케일까지의 들여쓰기 및 스크래치 길이 스케일 연결

독특한 다방향 테스트 기능을 보여주는 Si의 램프 포스 스크래치 테스트의 광학 현미경 이미지. 3D OmniProbe는 세 축을 모두 따라 힘과 변위를 지속적으로 측정하고 제어합니다.

Bruker의 3D OmniProbe는 들여쓰기와 스크래치 모두에서 나노 에서 마이크로-정권에 이르는 깊이 감지 기능을 확장합니다. 3D OmniProbe는 거칠거나 두껍거나 상대적으로 단단한 필름에 적합한 마이크로 기계적 특성을 사용하도록 설계되어 더 높은 힘과 더 큰 변위가 작동하도록 설계되었습니다. 3D OmniProbe의 각 축은 독립적으로 구동되고 측정되어 모든 방향과 길이 저울에 걸쳐 스크래치가 허용됩니다. 3D OmniProbe는 스크래치 저항, 코팅 담소/접착력, 마찰 결정계 수, 마모 와 같은 트리뷸리학적 특성화를 수행할 자격이 있습니다. 또한 스크래치 의 사후 분석 변형에 대한 profilometry 측정은 150mm의 거리 또는 최대 80 μm의 변위에 대해 수행 될 수 있습니다.

3D OmniProbe는 강제 또는 변위 제어에서 닫힌 루프 피드백에서 작동할 수 있는 고대역폭 트랜스듀서입니다. 압전 작동 및 독립적으로 3 플레이트 정전 용량 변위 감지 설계는 높은 힘이지만 소음과 열 드리프트를 생성합니다. 각 3D OmniProbe는 헤드가 1N 최대 정상 힘에서 최대 10N까지 조정할 수 있기 때문에 정상 힘과 측면 감도에 대한 사용자의 요구를 충족하도록 설계, 구성, 보정 및 테스트되어 큰 힘을 필요로 하는 측정을 가능하게 합니다.