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LEPTOS R

O LEPTOS R foi projetado para a análise dos dados de refletividade de raios X (XRR) e espalhamento difuso (DS) de estruturas de camadas finas. O módulo é totalmente integrado ao conjunto LEPTOS, que incorpora a análise simultânea dos dados de HRXRD, GISAXS e XRR. Como parte do conjunto LEPTOS, o módulo R herda toda a funcionalidade comum para todo o pacote.

O LEPTOS R vem recebendo boas classificações em várias referências internacionais, inclusive o projeto A10 do VAMAS. A estrutura do LEPTOS R é compatível com rfCIF, a recente norma internacional desenvolvida para o formato de dados de XRR.

LEPTOS R Software, XRD
Com o LEPTOS R, as barras de espalhamento difuso e as curvas de refletividade podem ser ajustados como uma curva separada e como um conjunto consistente de várias curvas em qualquer combinação de varreduras transversais e longitudinais.

Teoria

  • Formalismo dinâmico de Parratt para calcular a refletividade a partir de amostras multicamadas e da aproximação de onda distorcida de Born para simulação/ajuste do espalhamento difuso de raios X
  • Diversidade de modelos de rugosidade interfacial para amostras com diferentes morfologias de crescimento
  • Método operador para o cálculo universal de parâmetros de espalhamento de raios X a partir de materiais amorfos e cristalinos, tais como, fatores de espalhamento atômico, polarizabilidades de raios X, etc.
  • Método patenteado de EigenWaves (MEW) para a aceleração essencial dos ajustes para os super-retículos e repetições de multicamadas

Editor de amostras

  • Editor de modelos de amostra potente e flexível, que inclui as ferramentas para os super-retículos, vinculação de parâmetros físicos das camadas e perfis de camada definidos pelo usuário
  • Banco de Dados de Materiais abrangente e extensivo ao usuário
  • Ferramenta de Difratômetro Virtual para considerar a função da resolução instrumental e os efeitos de impressão digital

Avaliação de dados

  • Simulação e ajuste do espalhamento difuso de raios X por meio de vários modelos de correlação de rugosidade vertical e lateral; tanto os dados especulares quanto os dados difusos podem ser ajustados de maneira consistente.
  • Simulação, estimativa e ajuste de dados no espaço direto e recíproco
  • Transformada Rápida de Fourier para uma estimativa rápida das espessuras das camadas
  • Análise detalhada por meio de ajustes usando o Algoritmo Genético, Simulated Annealing, Simplex ou rotinas de ajuste de Levenberg-Marquardt.
  • Mapeamento de área; avaliação automatizada de dados por meio da interface de script

Saída

  • Os resultados são salvos em arquivos de projeto baseados em XML
  • Várias opções de relatórios e exportação personalizáveis