SI BrickScan

 

SiBrickScan (SBS) - это специализированная система, работающая в режиме реального времени, для количественного определения содержания кислорода в цельных слитках кремния, результатом которого является профилирование концентрации вдоль продольной оси слитка.  Получение этой информации без распиливания пластин или тестовых образцов является экономически целесообразным.

SBS 1

Ценная информация для проверки и оптимизации качества продукции

Знание градиента концентрации кислорода в слитках Si позволяет делать важные выводы, например, контролировать и оптимизировать процесс кристаллизации кремния или выявлять партии некачественного сырья. Поэтому SBS поможет сэкономить на расходах за счет оптимизации качества продукции и уменьшения количества бракованных пластин. Случайная выборка отдельных слитков сильно сокращает усилия по подготовке образца, и обеспечивает получение данных по кислороду намного раньше.

Высочайшая чувствительность благодаря современной FTIR-спектроскопии

Количественное определение содержания междоузельного кислорода методом ИК-Фурье-спектроскопии (ASTM / SEMI 1188) является хорошо известным и важным методом анализа, но оно ограничено тонкими образцами Si порядка нескольких миллиметров. SiBrickScan (SBS) преодолевает это ограничение и является первой коммерчески доступной, специальзированной системой для определения градиента кислорода в слитках вдоль всей их главной оси, без необходимости трудоемкой подготовки тонких образцов. SBS основан на анализе соответствующей полосы поглощения инфракрасного излучения при помощи надежной и современной технологией Bruker FTIR.

Чтобы отправить запрос на SBS онлайн, пожалуйста, нажмите сюда.

Специализированные версии SBS для разных типов слитков

SBS подходит для поли- или монокристаллических стандартных прямоугольных слитков PV (сечение ~ 156 x 156 мм2), а также для цилиндрических слитков Si, например. диаметром ~ 150 мм (6 ") или ~ 200 мм (8"). Системы для других диаметров и форм доступны по запросу.

Надежная промышленная конструкция

SBS 2

Прочный и прецизионный линейный привод автоматически контролирует положения  в которых производится измерения слитка: в зависимости от конфигурации и типа слитка пространственное разрешение определения концентрации кислорода может составлять ~ 12 мм вдоль оси слитка. Надежные и безопасные блокировочные механизмы исключают риск контакта оператора с движущимися частями.

Интуитивно понятный и простой в использовании программный интерфейс

SiBrickScan (SBS) включает в себя специализированный и интуитивно понятный графический интерфейс пользователя, оптимизированный для промышленного использования. Обычные рабочие также могут использовать стандартную процедуру работы за считанные минуты: просто загрузите слиток, выберите нужный алгоритм анализа и начните измерение. Само измерение будет проводиться автоматически, включая расчет результатов.

SBS 3

Инновационная оптическая скамья высокой чувствительности с эталонным образцом

Уникальный оптический путь обеспечивает высочайшую чувствительность измерений. Высококачественный эталонный образец уже включен в прибор, и эталонное измерение выполняется автоматически.

Варианты выбора детектора в соответствии с требованиями заказчика

SBS может быть укомплектован охлаждаемым детектором Стирлинга, работающим без жидкого азота. Опционально можно заказать SiBrickScan с детектором, охлаждаемым жидким азотом, включая автоматическое устройство заполнения.

Количественное определение межузельного кислорода без подготовки тонких образцов

SBS 4

SiBrickScan позволяет проводить анализ содержания кислорода в слитках кремния длиной до 500 мм. Эта ценная информация позволяет оптимизировать процесс кристаллизации, а также проверять отдельные слитки перед распиливанием.

Калибровка высокого качества, напрямую определяется ASTM / SEMI 1188

SBS 5

Для оценки содержания кислорода в SBS используется калибровка, которая напрямую описана в ASTM / SEMI 1188. Поскольку соотношение обоих методов практически идеальное, концентрация кислорода оценивается с достаточно высокой точностью.

Высочайшая чувствительность обнаружения с SBS

В зависимости от формы и свойств образца (например, сопротивления) SBS может достигать пределов обнаружения кислорода <2ppma (<1017 / см3). Если вы заинтересованы в тестовых измерениях ваших образцов, обратитесь в местное представительство Bruker.