基于掠入射X射线光学的WDS先进材料微分析手段
精彩回看（时长56分钟）
一种提高空间分辨率的原位分析方法
波长色散光谱仪(WDS)和能量色散光谱仪(EDS)都是对样品受激产生的x射线进行分类和计数的分析技术。
从纯技术角度相比较而言，EDS有两个主要不足，一个是较低的能量分辨，使得EDS在区分能量相近的谱线上有难度，另一个是较低的信噪比，这从一定程度上限制了EDS的探测灵敏度。而WDS可以通过使用分光晶体筛选满足布拉格定律的单个特征X射线来解决以上问题，但WDS的收集效率低，需要较高的探针电流/加速电压，这限制了WDS探测的空间分辨率，并可能损坏电子束敏感的材料。
通过增加掠入射x射线光学系统可以弥补WDS的这一缺点，有望提高WDS的收集效率，尤其是针对轻元素等长波辐射信号。此外，配有掠入射X射线光学的WDS允许用户减少探针电流和加速电压，为非破坏性定量分析材料的纳米结构开辟了新道路。例如，具有掠入射光学的QUANTAX WDS可用于研究FeNdB磁体中的晶界，从而可以清晰辨别出Co和Cu的存在并精确量化它们的浓度。
在本次网络研讨会中，我们将探讨添加掠入射x射线光学器件后是如何使扫描电镜上的WDS在低加速电压和低于通常探针电流下进行工作的。与SEM EDS相比，该解决方案充分发挥了WDS的优势，实现了在亚微米尺度样品上进行更高能量分辨率和更低信噪比的显微成分分析。
推荐参加讨论的人群
- 工业界和学术界使用微量分析技术的研究人员
- 对先进的SEM X射线光谱技术感兴趣的材料科学及实验室工作人员
合作方：
FeNdB磁体的WDS和EDS谱
用于SEM高端微量分析应用的QUANTAX WDS
主讲人
Eric Robin
Senior Researcher, CEA-IRIG Université Grenoble Alpes
Dr. Michael Abratis
Sr. Application Scientist, Bruker Nano Analytics
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