X射线衍射(XRD)

DIFFRAC.XRR

DIFFRAC.XRR是一个强大和简单易用的软件包,用于分析X射线反射法的测量数据。

亮点

全面的X射线反射分析

DIFFRAC.XRR拥有两种不同的分析方法,可以最好地满足用户需求:

  • 快速傅里叶变换(FFT)法,只需单击鼠标,即可通过X射线反射(XRR)曲线快速估算出膜厚。
  • 通过基于动态散射理论的样品模型拟合,详细分析X射线反射(XRR)的测量数据。

DIFFRAC.XRR旨在最大限度提高用户在整个分析过程中的效率:从创建样品模型到生成报告结果:

  • 灵活的样品建模,包括基于公式的参数和自由拟合变量。
  • 全面和可扩展的材料和样品数据库。
  • 高级自动化和工作流程功能,包括宏记录和逐步执行。
  • 自动分析和显示一系列反射率测量值。
  • 晶圆面扫描数据的评估,包括可定制的等高线图和统计分析。
  • 强大而广泛的带有模板功能的报表生成器。

特点

基于FFT分析的快速XRR分析

当分析任务需要提取膜厚时,DIFFRAC.XRR软件设置基准程序:只需单击鼠标,估算工具通过快速傅立叶变换评估膜厚,并直接将结果显示在相应的XRR测量图谱中。

通过全谱拟合进行详细的XRR分析

为了进行详细的分析,DIFFRAC.XRR软件应用动态散射理论进行精确的模拟。采用最小二乘法对样品模型参数(如厚度、粗糙度、质量密度)进行优化,使XRR曲线与实测数据相吻合。综合考虑实验的贡献(如仪器分辨率、背景和样品大小),以准确地描述测量结果。快速稳定的拟合算法保证了最佳的收敛性,从而可提供可靠的结果。

全面的材料数据库

DIFFRAC.XRR软件提供了一个全面的、可扩展的材料数据库,它包括无定形和晶体材料以及混合晶体到四元化合物。另外,该数据库还提供了结构因子或hkl花样以及X射线特性(如吸收、穿透深度、折射率、极化率)的计算。为了方便创建新的数据库条目,可以直接导入.cif文件和.str文件。

具有无与伦比灵活性的样品模型定义

从简单的单层膜到包含超晶格和梯度的高度复杂的结构——DIFFRAC.XRR软件适用所有:不同的界面粗糙度模型可以精确描述不同的生长形态;可以链接膜的参数以施加约束;额外自由变量的可用性为样品建模的灵活性设定了新的标准。

快速高效工作的样品数据库

DIFFRAC.XRR软件附带了一个强大的样品数据库。

可以创建、存储复杂的样品结构,并将其直接加载到当前分析项目中。这大大提高了日常工作的效率。

与测量软件DIFFRAC.SUITE共享样品数据库,还可以更有效地规划实验,从而大大支持DIFFRAC.SUITE软件平台的计划、测量和分析理念。

无与伦比的报告功能

DIFFRAC.XRR软件包括一个专业的打印和报告系统,用于创建尖端的、可出版发行的图形和完整的分析报告。

可以生成用户自定义和完全定制化的报告模板。报告可以直接打印、共享为pdf文件或者通过.docx文档进行进一步编辑。

自动化

常规的X射线反射率分析从未如此简单:DIFFRAC.XRR软件可以记录宏指令并在单次运行或步进模式下执行它们。

工作流程设计器为创建工作流程提供了一个直观的界面,可以引导用户完成数据分析,从导入测量数据到生成报告结果,甚至可以完全自动化地运行它。

测量分析

通常,在不同的非环境条件下对样品进行一系列XRR测量。

DIFFRAC.XRR软件可以方便快捷地分析此类数据系列:样品模型的每个精修参数都可以单独显示为非环境参数的函数。额外的统计分析可提供最大限度的洞察样品的特性和行为。

详细晶圆分析

晶圆或面扫描允许确定样品的横向均匀性。

DIFFRAC.XRR软件具有全晶圆分析功能:每个精修的样品参数都可以显示为一个轮廓线,可以显示参数的详细统计信息,并且沿表面的截面允许详细查看局部样品特性。

规格

DIFFRAC.XRR的技术指标

版本

最新软件版本为 DIFFRAC.XRR V1.0。  

分析方法

用于快速估算厚度的FFT法。

通过循环矩阵形式建立的动力学衍射理论。

用于超薄膜层模拟的有效密度模型(EDM)。

用于最快速模拟超晶格的特征波法(MEV)。

 

操作系统

Windows 8和10

32位和64位

 

支持

让您的DIFFRAC.XRR保持最新版本

免费维护更新

通过免费的DIFFRAC.XRR维护更新,您的EVA版本可被更新到最新版。无论您的XRR许可级别是什么,您都能通过www.brukersupport.com免费下载最新的维护更新。

下载步骤

  • 在“布鲁克客户支持中心(Bruker Customer Support)”上注册
  • 点击“软件”按钮
  • 搜索“DIFFRAC.XRR维护更新”
  • 下载更新

漏洞修复

通过让您的DIFFRAC.XRR保持最新版本,无论许可级别是什么,您都有权使用所有补丁对当前的版本及所有以前发布的版本进行修复。DIFFRAC.XRR维护更新是累积性的,因而可以用于任何以前的版本。

何为升级?

DIFFRAC.XRR维护更新没有附带新功能。如果您想使用在新版本中引入的功能,则需要购买最新的DIFFRAC.XRR升级服务。