DIFFRAC.XRR
全面的X射线反射分析
DIFFRAC.XRR拥有两种不同的分析方法，可以最好地满足用户需求：
- 快速傅里叶变换（FFT）法，只需单击鼠标，即可通过X射线反射（XRR）曲线快速估算出膜厚。
- 通过基于动态散射理论的样品模型拟合，详细分析X射线反射（XRR）的测量数据。
DIFFRAC.XRR旨在最大限度提高用户在整个分析过程中的效率：从创建样品模型到生成报告结果：
- 灵活的样品建模，包括基于公式的参数和自由拟合变量。
- 全面和可扩展的材料和样品数据库。
- 高级自动化和工作流程功能，包括宏记录和逐步执行。
- 自动分析和显示一系列反射率测量值。
- 晶圆面扫描数据的评估，包括可定制的等高线图和统计分析。
- 强大而广泛的带有模板功能的报表生成器。
基于FFT分析的快速XRR分析
当分析任务需要提取膜厚时，DIFFRAC.XRR软件设置基准程序：只需单击鼠标，估算工具通过快速傅立叶变换评估膜厚，并直接将结果显示在相应的XRR测量图谱中。
通过全谱拟合进行详细的XRR分析
为了进行详细的分析，DIFFRAC.XRR软件应用动态散射理论进行精确的模拟。采用最小二乘法对样品模型参数（如厚度、粗糙度、质量密度）进行优化，使XRR曲线与实测数据相吻合。综合考虑实验的贡献（如仪器分辨率、背景和样品大小），以准确地描述测量结果。快速稳定的拟合算法保证了最佳的收敛性，从而可提供可靠的结果。
全面的材料数据库
DIFFRAC.XRR软件提供了一个全面的、可扩展的材料数据库，它包括无定形和晶体材料以及混合晶体到四元化合物。另外，该数据库还提供了结构因子或hkl花样以及X射线特性（如吸收、穿透深度、折射率、极化率）的计算。为了方便创建新的数据库条目，可以直接导入.cif文件和.str文件。
具有无与伦比灵活性的样品模型定义
从简单的单层膜到包含超晶格和梯度的高度复杂的结构——DIFFRAC.XRR软件适用所有：不同的界面粗糙度模型可以精确描述不同的生长形态；可以链接膜的参数以施加约束；额外自由变量的可用性为样品建模的灵活性设定了新的标准。
快速高效工作的样品数据库
DIFFRAC.XRR软件附带了一个强大的样品数据库。
可以创建、存储复杂的样品结构，并将其直接加载到当前分析项目中。这大大提高了日常工作的效率。
与测量软件DIFFRAC.SUITE共享样品数据库，还可以更有效地规划实验，从而大大支持DIFFRAC.SUITE软件平台的计划、测量和分析理念。
无与伦比的报告功能
DIFFRAC.XRR软件包括一个专业的打印和报告系统，用于创建尖端的、可出版发行的图形和完整的分析报告。
可以生成用户自定义和完全定制化的报告模板。报告可以直接打印、共享为pdf文件或者通过.docx文档进行进一步编辑。
自动化
常规的X射线反射率分析从未如此简单：DIFFRAC.XRR软件可以记录宏指令并在单次运行或步进模式下执行它们。
工作流程设计器为创建工作流程提供了一个直观的界面，可以引导用户完成数据分析，从导入测量数据到生成报告结果，甚至可以完全自动化地运行它。
测量分析
通常，在不同的非环境条件下对样品进行一系列XRR测量。
DIFFRAC.XRR软件可以方便快捷地分析此类数据系列：样品模型的每个精修参数都可以单独显示为非环境参数的函数。额外的统计分析可提供最大限度的洞察样品的特性和行为。
详细晶圆分析
晶圆或面扫描允许确定样品的横向均匀性。
DIFFRAC.XRR软件具有全晶圆分析功能：每个精修的样品参数都可以显示为一个轮廓线，可以显示参数的详细统计信息，并且沿表面的截面允许详细查看局部样品特性。
DIFFRAC.XRR的技术指标
版本 |
最新软件版本为 DIFFRAC.XRR V1.0。 | |
分析方法 |
用于快速估算厚度的FFT法。 通过循环矩阵形式建立的动力学衍射理论。 用于超薄膜层模拟的有效密度模型（EDM）。 用于最快速模拟超晶格的特征波法（MEV）。 |
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操作系统 |
Windows 8和10 32位和64位 |
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免费维护更新
通过免费的DIFFRAC.XRR维护更新，您的EVA版本可被更新到最新版。无论您的XRR许可级别是什么，您都能通过www.brukersupport.com免费下载最新的维护更新。
下载步骤
- 在“布鲁克客户支持中心（Bruker Customer Support）”上注册
- 点击“软件”按钮
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