光阑管理系统AMS在不平整表面上实现卓越的微区XRF面分布图成像
扫描电镜中的微区 X 射线荧光（Micro-XRF） 分析，是材料科学、文物保护、地质等领域中表面不平整样品表征的理想方案。但受限于景深范围，焦平面以外区域易出现成像模糊，进而导致元素分布精度下降、信号质量变差。
XTrace 2 选配光阑管理系统（AMS），可完美攻克复杂形貌样品的元素分析难题。
光阑管理系统（AMS）能够最大程度减小X射线的发散，在大景深范围内保持聚焦，从而实现对不平整复杂形貌样品的成像分析。AMS 提供两种配置版本（AMS 500 / AMS 1000），可满足绝大多数分析需求，且光阑切换全程由软件自动控制。
图 1 为表面极度凹凸不平的含铜矿物样品，高低落差可达 5 毫米，测试时将焦点设定在样品中间位置。图 2 对比效果十分明显：未开启 AMS 时，微区 XRF 面分布图中高处与低处的钙、铜元素分布均出现模糊（箭头标注区域）；启用 AMS 500 后，整片区域的元素分布轮廓清晰锐利。
X 射线强度总和分布图反映了整个样品中所有探测到的 X 射线计数总和，可凸显 X 射线信号更强的区域，这类区域通常对应样品密度更高或厚度更大的部位。
图1 含铜矿物的侧视图。该样本未经任何制备，直接进行测量，其高度差最大可达5 mm。
图2 具有超过5 mm地形特征的含铜矿物样品的微区X射线荧光（Micro-XRF）分布图，左图为未使用AMS测量，右图为使用AMS 500测量。
AMS系统确保在较大的景深范围内光斑变化最小化，以清晰显示铜和钙的分布情况。