原子力显微镜

Dimension Edge PSS 原子力显微镜

LED 基板和外延片的理想计量和检测系统
Dimension Edge PSS Atomic Force Microscope

亮点

Dimension EDGE PSS

布鲁克的Dimension Edge™ PSS原子力显微镜与AutoMET™软件是LED基板和外延片制造商最理想的纳米计量和纳米检测系统。作为Dimension EDGE AFM 平台的延伸,Edge PSS 融合了 Dimension AFM 系统广为人知的扫描技术和超高分辨率,同时也为半导体基片生产提供了测量的解决方案。

纳米
分辨率
分析 PSS 基板的每个关键参数。
<0.2nm
噪音地板
提供裸基材和表皮粗糙度测量。
生产级
易用性
在价值合理的工业 AFM 中提供最佳的用户体验。

特点

特征

PSS 分析的最高分辨率

随着蓝宝石基板 PSS结构 的间距趋近 2 微米,传统的共聚焦技术失去了提供有价值的工艺测量所需的分辨率。Dimension Edge PSS 原子力显微镜 (AFM) 拥有亚纳米分辨率和一次测量多达 9 个 2 英寸晶圆(或单个 4 或 6 英寸晶圆)的能力,能够解决测量中的高分辨、高效的需求,提供了PSS 制造过程所需要进行的大量检测数据。

除了Dimension EDGE PSS 内置的特定 PSS 测量功能外,该系统还集成了 布鲁克Dimension 显微镜系列著名的扫描技术,适用于外延粗糙度测量中高分辨率、低噪声的要求,包括了轻敲模式、接触模式、相位测量等标准的AFM模式以及AFM专有的抬高模式。

平顶图案: 蓝宝石基板的 3D AFM 图像。

高级 PSS 计量能力

Dimension EDGE PSS 系统能够对 PSS 结构进行深入分析。
Dimension EDGE PSS AFM 提供纳米分辨率,用于分析 PSS 基板的每个关键参数,同时可以进行但晶圆的多点以及多个晶圆的多点测试。布鲁克的专用 PSS 分析包可以同时提供:
  • 高度、宽度和间距
  • 侧壁角度和特征轮廓
  • 不对称识别和测量
  • 污染识别
  • 转弯识别和转弯角度
  • 平顶识别

业界领先的AutoMET软件

Dimension  Edge PSS 系统集成了专门设计用于满足LED制造要求的AutoMET软件。 该软件具有两种不同级别的操作模式:

操作员级别:简单的用户界面,一步步指导用户完成探针更换,激光对齐,Tune 探针和确认探针安装的步骤。 一键完成多达9个晶圆“”合格/失败“”的分类测试结果的自动输出,

工程师级别:受密码保护的用户界面, 工程师可以访问所有关键的AFM参数。 在这种模式下,制程工程师可以轻松设置所有必需的“”通过/失败“检测”标准。

Dimension Edge PSS通过轻松的激光对准、自动生成报告的方式提高了系统的可操作性,使用户感受到有史以来最佳的AFM用户体验。

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