Dimension Edge PSS 原子力显微镜
Dimension EDGE PSS
布鲁克的Dimension Edge™ PSS原子力显微镜与AutoMET™软件是LED基板和外延片制造商最理想的纳米计量和纳米检测系统。作为Dimension EDGE AFM 平台的延伸，Edge PSS 融合了 Dimension AFM 系统广为人知的扫描技术和超高分辨率，同时也为半导体基片生产提供了测量的解决方案。
PSS 分析的最高分辨率
随着蓝宝石基板 PSS结构 的间距趋近 2 微米，传统的共聚焦技术失去了提供有价值的工艺测量所需的分辨率。Dimension Edge PSS 原子力显微镜 （AFM） 拥有亚纳米分辨率和一次测量多达 9 个 2 英寸晶圆（或单个 4 或 6 英寸晶圆）的能力，能够解决测量中的高分辨、高效的需求，提供了PSS 制造过程所需要进行的大量检测数据。
除了Dimension EDGE PSS 内置的特定 PSS 测量功能外，该系统还集成了 布鲁克Dimension 显微镜系列著名的扫描技术，适用于外延粗糙度测量中高分辨率、低噪声的要求，包括了轻敲模式、接触模式、相位测量等标准的AFM模式以及AFM专有的抬高模式。
高级 PSS 计量能力
- 高度、宽度和间距
- 侧壁角度和特征轮廓
- 不对称识别和测量
- 污染识别
- 转弯识别和转弯角度
- 平顶识别
业界领先的AutoMET软件
Dimension Edge PSS 系统集成了专门设计用于满足LED制造要求的AutoMET软件。 该软件具有两种不同级别的操作模式：
操作员级别：简单的用户界面，一步步指导用户完成探针更换，激光对齐，Tune 探针和确认探针安装的步骤。 一键完成多达9个晶圆“”合格/失败“”的分类测试结果的自动输出，
工程师级别：受密码保护的用户界面， 工程师可以访问所有关键的AFM参数。 在这种模式下，制程工程师可以轻松设置所有必需的“”通过/失败“检测”标准。
Dimension Edge PSS通过轻松的激光对准、自动生成报告的方式提高了系统的可操作性，使用户感受到有史以来最佳的AFM用户体验。
