三维光学轮廓仪

ContourGT-X

满足GR&R(重复性/再现性),用于研发和生产的自动计量方案
Contour GT-X

高亮

ContourGT-X

ContourGT-X 三维光学轮廓仪提供高性能非接触表面测量,适用于实验室研究和生产过程控制。该测量系统融合了十代白光干涉(WLI)创新和设计,可在业界最大的视场范围内提供最高的垂直分辨率。该系统主要包括全自动化系统与生产界面,一个大型电动 XYZ 平台、扫描头的倾斜/俯仰以及一个集成气浮式防震台。ContourGT-X 专为满足最苛刻的研发、质量保证和工艺质量控制需求而设计,提供了具有计量能力的顶级三维光学精度和测试稳定性解决方案。

全面
自动化
最快、最简单的纳米级测量。
定制化
生产界面
提供简化的工作流程、自动定位和测量程序。
自校准
激光基准
确保最佳的生产计量、可重复性和测试稳定性。

功能

特点

适于生产的设计和可靠性

ContourGT-X 融合了布鲁克专利倾斜/俯仰头、专利自校准激光基准系统、图案识别及其他多项专有的干涉创新技术,可提供极其精确的表面计量和量产所需的测试高效率。该系统的自动化配置可在几乎所有生产环境中实现快速优化,组件包括用于提升 X、Y、Z 晶圆定位精度的气垫桌稳定器套件,以及PDU、EMO 和真空系统,以兼容自动取放片拾取头的改进型真空吸盘。

高精度平台,实现超高分辨成像

ContourGT-X 高精度马达 XY 平台可在 X 方向和 Y 方向上进行 12 英寸的编码运动。该平台支持自动化路径设定,如多点数据采集,及拼接功能以实现大面积分析。0.5 微米编码器,提供可靠、可重复的自动化和样品定位。通过直观的操纵杆和软件界面控制,使操作人员轻松定位样品。

使用简便的表面测量和分析软件

布鲁克的 Vision64® 操作分析软件拥有业界功能最强、最简化的图形用户界面,将智能架构与直观可视化工作流程和广泛用户自定义自动化功能融合在一起,实现快速、全面的数据收集和分析。使用先进生产界面,ContourGT-X 几乎适用于所有生产环境和自动化过程。该界面提供了自定义工作流程、自动定位和选取测量程序的工具。

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