SI BrickScan

SiBrickScanSBS是一款专门用于定量分析完整硅锭中的间隙氧,生成沿硅锭纵轴的浓度分布曲线的在线系统。优势是不必切割晶圆或测试样品的情况下获取这类信息,可显著节约成本。

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通过获取有价值的信息来检查和提高产品质量

了解硅锭的氧梯度能得出重要的结论,从而控制和优化硅结晶过程,或识别劣质原料批次。因此,SBS将通过优化产品质量和减缺陷晶圆的数量来节约成本。对锭进行随机抽样也大大减少样品制备工作,并能提前提供相关信息。

先进的FTIR光谱法带来高灵敏度

尽管通过FTIR光谱法(ASTM/SEMI 1188)对间隙氧进行定量分析是一个众所周知的重要分析方法,但它却只能限制在小毫米量程的薄硅样品范围内。SiBrickScanSBS)巧妙地利用了相关的红外泛频吸收带,并与先进可靠的布鲁克FTIR技术相结合,打破了这个局限性,它是首个商用的完整硅锭中氧梯度专用分析系统,无需进行耗时且破坏性薄样品制备,就能准确测定沿主轴上的硅锭氧梯度。

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适用于不同硅锭类型的专用SBS版本

SBS可用于标准的多晶或单晶方形PV锭(横截面约为156 x 156 mm2)以及圆柱形硅锭,包括直径在150毫米(6英寸)或200毫米(8英寸)左右。如有需求,我们也可提供适用于其他直径和形状的系统。

稳定的设计且满足工业兼容性

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稳定且精确的线性驱动能够自动控制锭的测量位置:沿锭轴可达到12mm左右的间距,视配置和锭类型具体情况而定。加之安全可靠的互锁机制,避免了操作人员触碰活动部件的风险。

直观易用的软件界面

SiBrickScan (SBS) 具有针对工业环境进行优化的专用的直观式图像用户界面。即便是普通工人,也能在数分钟内学会使用其标准操作程序:仅需加载硅锭,选择目标分析方法,然后启动测量即可。随后,包括数据评估在内的测量过程将自动运行。

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创新的高灵敏度光路以及内置的参考样品

独具创新的红外光路确保最佳测量灵敏度。仪器内置高质量的参考样品,参考测量可自动完成。

检测器可由客户选配

SBS 亦可配备斯特林制冷检测器,无需液氮即可运行。用户也可选购液氮冷却检测器,它包括一个液氮自动补充装置。

无需制备薄样品即可进行间隙氧定量分析

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SiBrickScan 能够对 500 mm 直径硅锭的间隙氧进行分析。从中获得的重要信息优化结晶过程,并在切割之前,对单个锭进行定量分析。

与根据ASTM/SEMI 1188相比结果完全一致

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SBS的氧含量评估与根据 ASTM/SEMI 1188 进行定量结果完全一致。因此可以实现高精度的间隙氧含量评估。

SBS 可实现高检测灵敏度

SBS可达到< 2ppma (< 1017/cm3) 的检测极限,具体视样品的形状和性质(如电阻)而定。如果您对测试性能有兴趣,请联系当地的布鲁克代表。