探针式轮廓仪的黄金标准

DektakXT®探针式轮廓仪革命性的突破设计创新,实现了垂直高度重复性高达4埃,数据采集能力提高了40%。这一里程碑的创新和突破,使得DektakXT实现了纳米尺度的表面轮廓测量,从而可以广泛的应用于微电子器件,半导体,电池,高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。


On Off

技术创新四十余载,不断突破用攀高峰


Dektak品牌是首台基于微处理器控制的轮廓仪,首台实现微米测量的台阶仪,首台可以达到3D测量的仪器,首台个人电脑控制的轮廓仪,首台全自动300mm台阶仪。现在,全新的DektakXT延续了这种开创性的风格,成为世界第一台采用具有具有单拱龙门式设计,配备全彩HD摄像机,并且利用64位同步数据处理模式完成最佳测量和操作效率的台阶仪。

Dektak timelineV2
Stylus Garstip v1

提高测量和数据分析速度


首次采用独特高速的直接驱动扫描样品台,DektakXT在不牺牲分辨率和基底噪音水平的前提下,大大缩短了每次扫描的间隔时间,将数据采集处理的速度提高40%。另外,DektakXT采用布鲁克具有64位数据采集同步分析的Vision64,可以提高大范围3D形貌图的高数据量处理速度,并且可以加快数据滤波和多次扫描数据库分析的速度。

提高操作的可重复性


使用单拱龙门结构设计更坚硬持久不易弯曲损坏,而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响。DektakXT会把系统和环境噪音引起的测量误差降到最低,能够更稳定可靠的扫描高度小于10nm的台阶,获得其形貌特征。

Stylus wafer v1
Stylus vision64 v1

完善的数据采集和分析系统


与DektakXT的创新性设计相得益彰的配置是布鲁克Vision64操作分析软件。Vision64提供了操作上最实用简洁的用户界面,具备智能板块,可视化的使用流程,以及各种参数的自助设定以满足用户的各种使用要求,快速简便的实现各种类型数据的采集和分析。



简便易行的实验操作系统


DektakXT新颖的探针的部件自动对准装置,可以尽量避免用户在装针的过程中出现针尖损伤等意外。为尽可能满足所有应用的需求,布鲁克提供各种尺寸的标准探针和特制探针。


Stylus tip exchange v1
Dektak 3d hybrid circuit map v1


高效率的保证


DektakXT卓越的测量重复性为工程师们提供准确的薄膜厚度和应力测量,使其可以精确调节刻蚀和镀膜工艺来提高产品的优良率。


更多信息