software, X-ray diffraction, DIFFRAC.SUITE

LEPTOS R

LEPTOS R是为薄膜结构的X射线反射率(XRR)和非镜向漫散射(Off-specular Diffuse Scattering, DS)分析设计的。 此模块完全集成在LEPTOS软件包中,同时可与HRXRD、GISAXS和XRR数据分析同时进行。作为LEPTOS软件包的一部分,模块R继承了整软件包所有共通功能。

 

在包括VAMAS的A10计划的许多国际评比中,LEPTOS R 都得到了很高的评价。LEPTOS R使用的XRR数据结构也符合最新制定的rfCIF国际标准。

LEPTOS R Software, XRD
With LEPTOS R diffuse scattering rods and rocking curves can be fitted both as a separate curve and as a consistent set of several curves in any combination of transverse and longitudinal scans.

理论基础

     

  • 利用Parratt动力学方程式计算多层薄膜样品的反射率并利用畸变波玻恩近似(Distorted-wave Born approximation, DWBA)模拟/拟合非镜向漫散射。
  • 针对不同生长形貌的样品,可选择使用不同的界面粗糙度模型。
  • 对结晶或非结晶材料的X射线散射参数(例如原子散射因子及X射线极化率,等等)采用用户模式来计算。
  • 对超晶格及重复多层膜结构分析使用Bruker专利的本征波计算法(Method of Eigen Waves, MEW)来加快拟合计算速度。

试样模型编辑器

  • 强有力的和灵活的试样模型编辑器,包括超晶格,连接层物理参数,用户定义的层间模型。
  • 系统包含强大的材料数据库,并容许用户自行扩充材料。
  • 利用虚拟衍射仪工具来计算系统分辨率函数及光斑效应修正。

数据分析

     

  • 在模拟及拟合非镜向漫散射时,有多种垂直及水平相关粗糙度模型可供选择。此功能可使镜向及非镜向量测分析结果一致。
  • 对实空间及倒易空间的数据可做模拟,估计及拟合分析。
  • 利用快速Fourier变换来提供快速薄膜厚度估计分析。
  • 可选择利用遗传演算法,模拟退火法,Simplex演算法及Levenberg-Marquardt演算法来进行精细结构分析。
  • 可进行区域分布图分析。利用程序界面来实现自动数据分析。

结果输出

  • 分析结果储存在XML格式的工程文件。
  • 多种报告输出选项及定制输出