電気特性 中級コース 半導体解析の基礎 とコツ ～ SCM, SSRM, sMIMを用いた表面・界面の電気特性評価 ～
SCM, SSRM, sMIM を用いた半導体解析に関するウェビナーを企画しました。今回はブルカーアプリケーションエンジニアよりAFMを用いた電気測定の基礎や各種解析結果、更に最新のデータキューブ測定例についてご紹介し、最後に試料作製方法を簡単に紹介します。
ウェビナー要約
わかる！AFM シリーズの今回は、SCM, SSRM, sMIM を用いた半導体解析に関するウェビナーをお届けします。本ウェビナーではブルカーアプリケーションエンジニアよりAFMを用いた電気測定の基礎や各種解析結果、更に最新のデータキューブ測定例についてご紹介し、最後に試料作製方法を簡単に紹介します。
（右図：SRAM pnpトランジスターのDCUBE-SCMデータ。これらのイメージは、SCMのdc/dvアンプリチュードデータをもとに各ポイントで dc/dv-V カーブを取得し X, Y, VDC の3次元キューブを構築したものです。データポイント：128 x 128ピクセル。）
＜こんな方におススメ＞
これからAFMを用いた半導体解析を始めたい方
ドーパントプロファイル可視化に興味のある方
マクロな電気測定に課題を感じている方
このウェビナーで取り上げられた技術の詳細や、原子力顕微鏡（AFM）向けの当社の他のソリューションについて、詳しくはこちらをご覧ください：
