鉱物サンプルの高度なフェーズ同定
測定領域でARGUSイメージング検出器で取得した原子コントラスト画像。少なくとも5つの異なるフェーズの存在は、異なる灰色のレベルから推測することができます。
EBSDは、微細構造を分析し相同定するための、地球科学研究において非常に強力な技術です。粒子の格子配向を測定し位相分布を提供することにより、EBSDは鉱物構造の結晶方位定向配列（CPO）を決定し、変形と相転移のメカニズムを理解するのに役立ちます。
鉱物学的サンプルの課題の1つは、測定を設定するときに見逃しやすい副相を考慮する際に、フェーズが多数あることと粒度にかなり差があることです。しかし、化学組成が類似して結晶構造が異なるフェーズはEBSDによって区別することができ、結晶構造が類似して化学組成が異なるフェーズはEDSによって区別することができます。両方のフェーズを含む試料を用いると、EDSとEBSDデータの同時測定と組み合わせ処理がこれらの制限を克服できると実証することができます。
この例では、海洋性斑レイ岩（ODP 304/305 U1309D）のサンプルをEBSDとEDSの同時測定で分析しました。5つの異なる対称性の10フェーズが識別され、正常にインデックス化されました。フェーズの識別と区別は、SEM を使用したオンラインで、または保存されたデータをオフラインで、半自動で実行されます。これにより、ユーザーは再測定を必要とせずに、解析を修正または完了することができます。 EBSDの位相分布マップと配向分布マップ（図3および図4）は、多数の低結晶対称相と高結晶対称相を同時にインデックス化するソフトウェアの機能を示しています。
ARGUS™イメージング検出器で取得した方位のコントラスト画像。これは微小構造を明らかにし、イオンミリングによるカーテニングにもかかわらず、サンプルは十分に準備されています。金結合の内部歪みは色分けされた方位コントラストによってはっきりと見えています。
未処理の EBSD フェーズ分布マップでは、95% の高いインデックスレートでインデックス化された 10のフェーズが存在しています。黒い箇所では、浸食、気孔、亀裂が見られます。このマップは、ソフトウェアが低結晶対称相と高結晶対称相を同時にインデックス化する能力があることを示しています。大きな透輝石粒中の単斜紫蘇輝石の微細な離溶は解決されていることに注意してください。同様の結晶性があるにもかかわらず、QUANTAX EBSDのロバストなインデックス化アルゴリズムは、これらのフェーズに対して正確にインデックスを生成することができます。
10フェーズのパフォーマンスインデックスを図示するために、チルト軸に沿った方位分布によってオーバーレイされたパターンクォリティマップ