eWARP TKD：超高速・高空間分解能の透過電子回折（TKD）システム
最高の空間分解能、最大のスループット、妥協のない性能
eWARP TKDは、受賞歴を持つeWARPシリーズに新たに加わったTKD専用検出器です。Bruker独自の最先端WARPセンサー技術を基盤に開発され、ナノ材料解析に求められる高感度、高速測定、高空間分解能を実現します。
eWARPに搭載された独自のWARPセンサーは、これまでにない空間分解能と超高速マッピングを実現し、EBSD解析に新たな時代を切り拓きました。
そして、この革新的なWARP技術を受け継ぐeWARP TKDは、TKD（Transmission Kikuchi Diffraction、Transmission EBSDとも呼ばれる）の可能性をさらに広げます。卓越した空間分解能、優れた信号効率、高速解析能力を兼ね備え、ナノ材料解析を新たな次元へと導きます。
システムの中核には、新たに開発されたピクセルアレイセンサーを採用しています。162 × 162ピクセルの高密度配置と26 × 26 mm²を超える広い有効検出領域により、優れた感度と高い信号収集効率を実現しています。
eWARP TKDは、SEMにおける「オンアクシス」試料配置を採用し、ナノ材料解析のために最適化されたTKD専用システムです。優れた感度、高速測定、卓越した空間分解能、高いデータ品質を兼ね備え、あらゆる主要性能において従来のTKDソリューションを凌駕します。
eWARP TKDは、BrukerのQUANTAX EBSD解析システム向けに設計されたTKD専用検出器です。
eWARP TKDが切り拓く、次世代ナノ材料解析
eWARP TKDは、SEMにおけるナノ材料解析を新たな次元へと導きます。卓越した空間分解能、高いスループット、優れたデータ品質により、研究者やエンジニアにこれまでにない解析能力を提供します。
飛躍的な解析効率の向上：
最大5,700 fpsの高速測定により、高品質な結晶方位マップや相マップをわずか1〜5分で取得。測定時間を大幅に短縮しながら、高い解析精度を実現します。
卓越した空間分解能：
eWARP TKDは、高性能FE-SEMと組み合わせることで、2 nm以下の空間分解能でマッピングを実現します。
超高速DF/BFイメージングを標準搭載
eWARPの特許取得済みオンチップビニング技術により、TKD測定と並行して、Dark Field（DF）像およびBright Field（BF）像の高速取得を可能にします。
その場観察（In-situ）実験/時間分解マッピング
数秒ごとにマップや像を取得できる高速測定性能により、加熱試験や機械的負荷試験中の薄片化試料（TEM試料）における微細構造の変化をリアルタイムで可視化します。
ドリフト補正不要・アーティファクトを低減
低照射条件と高速マッピング性能により、試料ドリフトの影響を大幅に抑制します。その結果、ドリフト補正をほとんど必要とせず、ドリフト起因のアーティファクトを抑えた高品質な方位マップや相マップを取得できます。
電子線損傷を受けやすい試料にも対応
卓越した信号収集効率により、電子線損傷を受けやすい材料に対しても、低照射条件でのTKDマッピングを実現します。
eWARP TKDが実現する卓越したナノ材料解析
図1は、15 nm厚の金薄膜（平面観察）について、ステップサイズ2 nmで取得した大面積の結晶方位マップ（IPFz）を示しています。挿入図には、50 nm未満のすべての結晶粒の等価粒径分布（左上）と、ハイライト領域の拡大図（右上）を示しています。
なお、本データにはデータクリーニング処理を一切施していません。また、5ピクセル未満で構成される結晶粒は、ヒストグラムおよび統計解析の対象から除外しています（約5 nm付近の分布の欠落部分を参照）。
マップサイズ: 4.3 Mピクセル（5.1 µm × 3.9 µm）
ピクセルサイズ：2 nm
インデックスレート：92.5％
解析速度：2,873 パターン/秒
マッピング取得時間：25分13秒
加速電圧：30 kV
照射電流：2 nA
50 nm未満の結晶粒数：107,993
平均等価粒径：21.2 nm
Register Now: A New Frontier for Nanomaterials Research in the SEM
In this launch webinar, explore the breakthrough technology behind eWARP TKD and see how it is redefining nanomaterial characterization.
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