3次元光学プロファイラー

共焦点顕微鏡について - 妥協は必要?

制約のないゲージ対応計測を実現するブルカーの3次元白色光干渉型顕微鏡

あらゆる倍率で最高の垂直分解能を実現

ブルカーの3次元白色光干渉型顕微鏡では、Z軸でクローズドループスキャンを用いて、ナノメートル以下の垂直分解能と、0.01ナノメートルのRMS再現性を実現しています。そのため、特定のアプリケーションにもっとも適した視野内で、信頼性と再現性の高いデータが得られます。ブルカーの3次元白色光干渉型顕微鏡では、倍率や視野に関係なく、この高分解能が維持されます。共焦点顕微鏡では、視野が制限される50倍以上の倍率を用いなければ、これに匹敵する分解能は得られません。

最大視野

3次元白色光干渉型顕微鏡では、選択した対物レンズに応じた視野で完全なデータセットを取得できるため、低い倍率で大きな視野を得ることができます。ブルカー独自のAcuityXR技術により、低い倍率における高い水平分解能も実現します(回折限界を超えた)。さらに、ブルカーの自動ステージオプションを使えば、さらに広い領域をイメージングし、1つの高分解能データセットとしてまとめることが可能です。

共焦点イメージでは、低い倍率でのイメージ品質が低下している
欠陥(様々な表面テクスチャ)を持つクロムメッキ。

分析困難な表面で高い信頼性と計測結果を提供

ブルカーの3次元白色光干渉型顕微鏡は、さまざまなタイプの表面の難しい計測でも、低ノイズ、高速、高精度、高確度が実現します。滑らかな表面でも粗い表面でも、反射性でも非反射性でも、平坦面でも斜面でも、ブルカーの技術が優れた計測を可能にします。表面計測のニーズに応える3次元白色光干渉型顕微鏡の詳細については、ブルカーへお問合せ下さい。

優れたイメージング

ブルカーのVision64™ソフトウェアは、高分解能データを意味のあるイメージに変換し、エンジニアが正しい判断を下すのを支援します。数多くのカスタマイズ分析と直観的なユーザーインターフェースを備えたブルカーの3次元白色光干渉型顕微鏡ソリューションを使えば、ラボや工場の生産性を簡単に最適化することが可能です。

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