In-Situ SPMイメージング
試験前後の表面イメージングにより、高精度な測定位置決めと信頼性の高いナノメカニカル評価を実現
ブルカーは、ナノメカニカル特性評価とナノトライボロジー評価を高分解能SPMイメージングと直接組み合わせた、In-Situ SPMイメージング技術のパイオニアです。
本手法では、ナノメカニカル試験に使用する圧子をそのまま表面イメージングに利用するため、試験前の表面観察、測定、試験後の変形評価までをシームレスに実施できます。 これにより、測定位置のずれを排除し、高い測定精度と再現性を実現します。
一方、AFMなどを別途用いるEx-Situイメージングでは、試験後に試料を別の観察装置・観察位置へ移動する必要があり、画像取得に時間を要するだけでなく、目的の測定箇所への正確な位置合わせも課題となります。ブルカーのIn-Situ SPMイメージングは、これらの課題を解決し、より信頼性の高い評価を可能にします。
10 µmスキャンサイズ、1024 × 1024ピクセルで取得した隕石試料の表面形状像
スキャンサイズおよび縦横方向の解像度は独立して設定可能です。例：30 µm × 30 µmのスキャンサイズにおいて、256 × 256ピクセル（上図）および512 × 256ピクセル（下図）で取得した画像。
ナノメートル精度の測定位置決め
ブルカーのIn-Situ SPMイメージングは、ナノメカニカル試験と同等のスケールで表面をイメージングできるため、ナノメートルレベルでの定量的かつ高精度な評価を実現します。スキャンサイズと解像度は解析目的に応じて自由に設定でき、試料ごとのニーズに合わせた最適な表面解析を実現します。
測定位置のSPMイメージングにより、微細構造、表面形状、粗さなどの表面情報をナノメートル分解能で取得できるため、測定前の表面欠陥の確認にも有効です。
また、10 nm以下の高精度な位置決めにより、複相材料の評価を効率化するとともに、ドメインの形状、サイズ、分布などの微細構造と機械的特性との直接的な相関解析を可能にします。
さらに、測定後のSPMイメージングでは、き裂やパイルアップなどの変形挙動を定量的に評価できるほか、測定位置が適切であることを直接確認することもできます。