nanoECR
機械特性評価と同時に電気接触抵抗を測定
導電性ナノインデンテーション
シリコンへの押込み試験中に取得した電流-変位曲線。圧力による結晶構造の変化に伴う電気抵抗変化を示しています。
電気接触抵抗測定とナノインデンテーションを組み合わせることで、ナノスケールにおける接触抵抗の変化や変形に伴う電気特性の変化を評価できます。
導電性圧子を介して試料に電流を流すことで、押込み荷重や押込み深さの関数としてナノスケールの電気特性を測定できます。さらに、電流-電圧（I-V）特性の定量評価に加え、薄膜の破壊、転位発生、変形挙動、接触抵抗、疲労特性、ダイオード特性、トンネル効果、圧電応答、相変態など、さまざまな現象の解析に活用できます。
単一の押込み試験中に異なる荷重条件で取得した電流-電圧（I-V）特性。
In-situ電気特性・ナノインデンテーション同時測定
ブルカーのnanoECRは、導電経路を組み込んだ独自の静電容量型トランスデューサを採用しています。導電性圧子を介して試料と電気的に接触することで、押込み荷重や押込み深さに応じて変化する電気接触状態を連続的に測定できます。
また、フィードバック制御により荷重または変位を高精度に制御しながら、ナノスケール接触の一定電圧印加下での測定やI-V掃引測定を実施できます。これにより、機械特性と電気特性を同時に評価し、材料やデバイスの挙動をより深く理解することが可能になります。