纳米机械测试

纳诺埃克尔

原位纳米级电气接触电阻

导电纳米缩进

电流与位移曲线以及从缩进到 Si 的电流测量,显示了相变过程中电阻率的变化。

电气接触电阻测量与纳米缩进相结合,为纳米尺度的接触电阻演化和材料变形行为提供了宝贵的新见解。通过导电纳米探针通过电流,可以确定纳米级电气特性作为应用探针力和探针位移到样品表面的函数。除了对纳米级电气触点 I-V 特性进行定量测量外,还可以在薄膜断裂、脱位成核、变形瞬变、接触电阻、疲劳、二极管行为、隧道效应、压电响应、相变等领域获得新的见解。

在单个压痕实验中,在不同负载下获得的一系列电流电压 (I-V) 曲线。

就地电气和纳米缩进测量

布鲁克的 nanoECR 利用布鲁克专有静电传感器的新模型,该传感器经过改进,通过导电内肠探头提供从样品偏置阶段的电气路径,以便连续测量不断变化的电气接触条件,作为施加力和探头位移的功能。nanoECR 在反馈控制下工作,可在高度受控的应用负载或探头位移条件下,从纳米级探头触点进行恒定电压或 I-V 扫描测量。