サンプルステージ
多様な試料形状やサイズに柔軟に対応
迅速・高剛性・高信頼な試料固定
多用途サンプルステージ
ナノメカニカル評価およびナノトライボロジー評価において、試料の確実な固定は高い測定精度と再現性を実現するうえで重要です。
ブルカーは、多様な試料形状やサイズに対応する豊富なサンプルチャックを提供しています。磁気固定、真空吸着、機械固定などの方式により、接着剤を使用することなく、さまざまな材料を確実に固定できます。また、用途に応じて設計された専用チャックにより、迅速かつ確実な試料固定を可能にし、セットアップ時間を短縮します。
300mmウェハ対応真空チャック
ウエハ全面の機械特性評価
ブルカーは、150 mmおよび300 mmウェハをダイシングすることなく評価できる真空チャックを開発しています。
非磁性ステンレス鋼を高精度に加工して製造されており、ウェハ全面にわたり均一な真空吸着力を実現します。ステージには独立した同心円状の真空溝が配置されているため、サイズの異なるウェハでも真空チャックの最大対応径まで安定して固定し、測定を行うことができます。