나노 기계 테스트

샘플 척

모든 애플리케이션에 대한 샘플 마운팅 척

신속하고 견고하며 신뢰할 수 있는 시료 마운팅

베르사주 척

경질 시료 마운팅은 신뢰할 수 있고 반복 가능한 나노 기계 및 nanotribological 테스트에 매우 중요합니다. Bruker는 다양한 샘플 유형 과 기하학을 안정적으로 장착할 수 있는 가장 넓은 범위의 샘플 척을 제공합니다. 중앙 실험실 시설에 전용 응용 프로그램을 위해 설계된 Chucks는 접착제없이 거의 모든 형태의 재료를 확보하기 위해 자기, 진공 및 기계식 클램핑 옵션을 통합합니다.

300mm 웨이퍼

전체 웨이퍼 특성화

Bruker는 다이징 없이 전체 150mm 및 300mm 가공 웨이퍼를 테스트할 수 있도록 여러 개의 진공 척을 개발했습니다. 모든 Hysitron 진공 샘플 단계는 전체 웨이퍼 하에서 균일한 진공 압력을 보장하기 위해 비자기 스테인리스 스틸에서 단단한 공차로 가공됩니다. 각 단계에는 독립적으로 작동되는 동심원의 시리즈가 있어 모든 크기의 웨이퍼를 진공 스테이지에서 허용되는 최대 까지 테스트할 수 있습니다.