xProbe
AFMに匹敵する高い分解能により、超薄膜や微細構造のナノメカニカル評価を可能に
超高分解能ナノインデンテーション
ブルカーのxProbeは、MEMSベースのトランスデューサを採用した高分解能ナノインデンテーション技術です。静電駆動および静電容量型センシング技術と最新のMEMSプロセス技術を融合することで、オングストロームレベルの測定を実現します。
xProbeは、AFMに匹敵する極めて低い荷重ノイズと変位ノイズ、高い感度を備えています。また、高い軸方向剛性により制御帯域を拡大し、フィードバック応答性を大幅に向上させることで、高ひずみ速度試験にも対応します。
超高分解能ナノインデンテーションを実現するxProbe
ナノスケールの限界に迫る定量評価
xProbeは、2 nN未満の荷重ノイズおよび20 pm未満の変位ノイズを実現し、従来のカンチレバー方式に匹敵する高い感度を提供します。
また、カンチレバーとは異なる高剛性構造と高精度なフィードバック制御により、ナノスケール領域においても信頼性の高い機械特性評価を可能にします。さらに、測定時に発生するジャンプインやジャンプアウトの影響を抑制し、安定した荷重制御と高精度な測定を実現します。
